特許
J-GLOBAL ID:200903050508852587
微小構造物の作製方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
杉村 興作
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-028148
公開番号(公開出願番号):特開2005-219150
出願日: 2004年02月04日
公開日(公表日): 2005年08月18日
要約:
【課題】実用的な微小構造部品を簡易に提供する。【解決手段】光硬化性樹脂からプレフォーム10を形成し、次いで、プレフォーム10に対して異なる強度の光を照射して、プレフォーム10に対して異なる程度の光硬化反応を誘起し、プレフォーム10のおいて加工部分に相当するヤング率の低い部分と、非加工部分に相当するヤング率の高い部分とを形成する。次いで、前記加工部分に対して加工操作を行い、微小構造物を得る。【選択図】図1
請求項(抜粋):
光硬化性樹脂からプレフォームを形成する工程と、
前記プレフォームに対して異なる強度の光を照射することにより、前記プレフォームに対して異なる程度の光硬化反応を誘起し、前記プレフォームのヤング率を制御する工程と、
前記プレフォームの、前記ヤング率の大小を利用することによって前記プレフォームを加工し、微小構造物を形成する工程と、
を具えることを特徴とする、微小構造物の作製方法。
IPC (3件):
B81C5/00
, B29C35/08
, B81B3/00
FI (3件):
B81C5/00
, B29C35/08
, B81B3/00
Fターム (7件):
4F203AA44
, 4F203AH81
, 4F203AR12
, 4F203AR20
, 4F203DA12
, 4F203DB01
, 4F203DC07
引用特許: