特許

J-GLOBAL ID：200903050569482707

リーク検査方法及びその装置

発明者： 伊藤 好弘 ,  樫原 成泰
出願人/特許権者： ガスミックス工業株式会社 ,  有限会社エーディ
代理人 (1件)： 黒田 博道 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-108944
公開番号（公開出願番号）：特開平10-300626
出願日： 1997年04月25日
公開日（公表日）： 1998年11月13日
要約：

【要約】【課題】 プローブガスの拡散速度に依存することなく、被検査物の種類を問わずに、高精度なリーク検査を行う。【解決手段】 上記プローブガスとは異なる基準気体を供給し、プローブガスが混入した基準気体を検査容器11から取り出しプローブガス検知器12を介して所定時間循環させることにより被検査物10のリークの有無を計測する。

請求項（抜粋）：

所定の密閉性が要求される被検査物を、被検査物を気密した状態で収納しうる検査容器内に配置し、プローブガスを供給して被検査物のリークの有無を検査するリーク検査方法において、上記プローブガスとは異なる基準気体を供給し、プローブガスが混入した基準気体を取り出し、プローブガス検知器を介して所定時間に亘り循環させ、上記プローブガス検知器により、基準気体中のプローブガスの濃度を検出し、プローブガスの濃度に基づき所定時間内における基準気体中のプローブガスの漏れ量を算出することにより被検査物のリークの有無を判断することを特徴とするリーク検査方法。

IPC (2件)：

G01M 3/32 ,  G01M 3/20

FI (2件)：

G01M 3/32 A ,  G01M 3/20 B

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 漏洩試験方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-298605   出願人：ヤマハ株式会社
• 特開昭62-056831
  
• 特開昭62-056831