特許

J-GLOBAL ID：200903050606305012

光照射装置

発明者： 森脇 一弘
出願人/特許権者： 株式会社三永電機製作所
代理人 (1件)： 清原 義博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-161189
公開番号（公開出願番号）：特開平9-204050
出願日： 1996年05月30日
公開日（公表日）： 1997年08月05日
要約：

【要約】【課題】 UV接着剤、光硬化接着剤等の硬化やシリコンウエハの露光などに用いられる光照射装置において、高速且つ広範囲の光出力制御が可能であるとともに、照射光強度を連続的に管理することができる光照射装置を提供すること。【解決手段】 発光ランプからの光を集光する反射鏡と、この反射鏡の集光部に受光端が位置されかつこの集光された光を導く光ファイバーと、この光ファイバーから取り出された1本又は複数本のファイバーからなり集光された光の一部を光強度センサーへと導くセンサーファイバーと、該センサーファイバーにより導かれた光の強度を測定する光強度センサーを備えた光強度モニターと、前記光ファイバー受光端前方に設けられ光ファイバーに入光する光量を変化させるシャッター装置とから光照射装置を構成した。

請求項（抜粋）：

発光ランプからの光を集光する反射鏡と、この反射鏡の集光部に受光端が位置されかつこの集光された光を導く光ファイバーと、この光ファイバーから取り出された1本又は複数本のファイバーからなり集光された光の一部を光強度センサーへと導くセンサーファイバーと、該センサーファイバーにより導かれた光の強度を測定する光強度センサーを備えた光強度モニターと、前記光ファイバー受光端前方に設けられ光ファイバーに入光する光量を変化させるシャッター装置を備えてなることを特徴とする光照射装置。

IPC (2件)：

G03F 7/20 501 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G03F 7/20 501 ,  H01L 21/30 527

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 光ファイバ照明装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-113303   出願人：ソニー株式会社, 林時計工業株式会社
• 特開平2-005063