特許
J-GLOBAL ID：200903050648386918

圧電振動片の製造方法、フォトマスク、圧電振動片および圧電デバイス

発明者：
中村 英明

中村 英明 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 村上 友一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-070441
公開番号（公開出願番号）：特開2003-273679
出願日： 2002年03月14日
公開日（公表日）： 2003年09月26日
要約：
【要約】【課題】 圧電振動片の外形形状に起因するスプリアス振動の発生を防止することが可能であり、また圧電デバイスを小型化することが可能な、圧電振動片の製造方法の提供を目的とする。【解決手段】 フォトリソグラフィにより耐蝕膜をパターニングし、前記耐蝕膜をマスクに圧電基板をエッチングして、前記圧電基板上に圧電振動片を形成する際に、前記フォトリソグラフィに使用するため、形成すべき前記耐蝕膜のパターンが描画されたフォトマスク90であって、圧電振動片の外形パターン92の角部から、当該角部の対頂角領域に、オーバーエッチング防止用のパターン96を延長描画した構成とした。
請求項（抜粋）：
圧電基板における圧電振動片の形成領域に耐蝕膜を形成するとともに、前記圧電振動片の形成領域の角部の周辺部に、前記圧電振動片の角部におけるオーバーエッチング防止用の耐蝕膜を形成する工程と、前記耐蝕膜をマスクとして前記圧電基板をエッチングし、前記圧電振動片の外形を形成する工程と、を順次行うことを特徴とする圧電振動片の製造方法。
IPC (3件)：
H03H 3/02 ,  G03F 1/08 ,  G03F 7/20 501
FI (3件)：
H03H 3/02 B ,  G03F 1/08 D ,  G03F 7/20 501
Fターム (5件)：
2H095BB02 ,  2H095BB12 ,  2H097GB02 ,  2H097LA20 ,  5J108MM11
引用特許：
審査官引用 (3件)

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