特許
J-GLOBAL ID：200903050649466176

異方性導電シート

発明者：
藤田 太郎

藤田 太郎 について

, 
奥田 泰弘

奥田 泰弘 について


出願人/特許権者：
住友電気工業株式会社

住友電気工業株式会社 について


代理人 (4件)： 中野 稔 ,  服部 保次 ,  山口 幹雄 ,  二島 英明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-379678
公開番号（公開出願番号）：特開2005-142111
出願日： 2003年11月10日
公開日（公表日）： 2005年06月02日
要約：
【課題】 異方性導電シートにおいて、計測対象のウエハや、計測器の電極端子に負荷加重による損傷を与えずに、良好な導通を得る。【解決手段】 電気絶縁性シート1と、該電気絶縁性シート1の厚み方向に穿孔された複数の貫通孔2と、該貫通孔2の内部に形成された導電性金属部分4、及び該導電性金属部分が延長して該貫通孔とシート面の角部より該シート面に一部面状露出していることを含む異方性導電シートとする。このように、外部電極との接触面積を拡大することにより、軽微な荷重で十分な導通が得られる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
電気絶縁性シートと、該電気絶縁性シートの厚み方向に穿孔された複数の貫通孔と、該貫通孔の内部に形成された導電性金属部分、及び該導電性金属部分が延長して該貫通孔とシート面の角部より該シート面に一部面状露出していることを含む異方性導電シート。
IPC (3件)：
H01R11/01 ,  G01R1/06 ,  H01L21/66
FI (4件)：
H01R11/01 501H ,  H01R11/01 501A ,  G01R1/06 F ,  H01L21/66 B
Fターム (8件)：
2G011AA01 ,  2G011AA15 ,  2G011AA16 ,  2G011AB08 ,  2G011AC14 ,  2G011AE03 ,  4M106AA01 ,  4M106DD30
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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