特許
J-GLOBAL ID：200903050653914825
成膜装置及び成膜方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
奥山 尚一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-080200
公開番号（公開出願番号）：特開2003-275630
出願日： 2002年03月22日
公開日（公表日）： 2003年09月30日
要約：
【要約】【課題】 使用する原料粉末の特性に応じて最適なノズル形状を容易に得ることができると共に、これを用いてノズルに解砕器/粉砕機としての機能を与えることもできて不純物等の混入の少ない高品質の皮膜を高効率で得ることができるような成膜装置及び成膜方法を提供する。【解決手段】 微粒子(原料粒子5)をガス中に分散させて発生させたエアロゾルをノズルから基板30に向けて高速で噴射させて前記微粒子を基板30に衝突させることにより、基板30の表面上に膜(皮膜31)を形成するようにした成膜装置において、エアロゾルを噴射するノズルを、複数の構成要素(例えば、一対のノズルブロック12,13、及びこれらのノズルブロック12,13間に挟持されるシムプレート14a,14b)から成る分割構造にする。
請求項（抜粋）：
微粒子をガス中に分散させて発生させたエアロゾルをノズルから基板に向けて高速で噴射させて前記微粒子を前記基板に衝突させることにより、前記基板の表面上に膜を形成するようにした成膜装置において、前記エアロゾルを噴射する前記ノズルを、複数の構成要素から成る分割構造にしたことを特徴とする成膜装置。
IPC (6件)：
B05B 7/08
, B05B 1/02
, B05B 7/14
, B05C 19/00
, B05D 1/12
, C23C 24/04
B05B 7/08
, B05B 1/02
, B05B 7/14
, B05C 19/00
, B05D 1/12
, C23C 24/04
4D075AA02
, 4D075AA24
, 4D075AA62
, 4D075BB56Y
, 4D075CA47
, 4D075DA06
, 4D075EA02
, 4D075EB01
, 4D075EB56
, 4D075EB57
, 4F033BA05
, 4F033CA01
, 4F033CA14
, 4F033DA01
, 4F033DA03
, 4F033EA01
, 4F033GA06
, 4F033NA01
, 4F033QA01
, 4F033QB02Y
, 4F033QB05
, 4F033QB12Y
, 4F033QB19
, 4F033QC02
, 4F033QC07
, 4F033QD02
, 4F033QD18
, 4F033QD23
, 4F042AA02
, 4F042AB03
, 4F042BA06
, 4F042CB03
, 4F042DD32
, 4F042DD33
, 4K044BA01
, 4K044BA11
, 4K044BA21
, 4K044CA23
, 4K044CA71
