特許

J-GLOBAL ID：200903050698764298

スクラッチ強度試験装置および試験方法

発明者： 谷 弘詞 ,  小川 陽子 ,  笹岡 徹
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-273789
公開番号（公開出願番号）：特開2001-091445
出願日： 1999年09月28日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：

【要約】【課題】高速で連続的に荷重を変化させながらスクラッチ試験を行うことが可能なスクラッチ強度試験装置及び方法を提供する。【解決手段】薄膜のスクラッチ強度を試験する試験装置において、薄膜の試験サンプルを搭載・固定するステージと、該ステージを傾斜させた状態で歳差回転させる回転機構と、上記サンプル表面を引っ掻くスクラッチ針と、該スクラッチ針の高さを決める垂直方向の位置決め機構と、回転中心からの上記スクラッチ針の水平方向距離を連続的に変化させる直線運動機構と、上記スクラッチ針にかかる摩擦力を検出する機構と、上記スクラッチ針が上記試験サンプルを引っ掻く際の荷重をかける機構とを有することを特徴とするスクラッチ強度試験装置。

請求項（抜粋）：

薄膜のスクラッチ強度を試験する試験装置において、薄膜の試験サンプルを搭載・固定するステージと、該ステージを傾斜させた状態で歳差回転させる回転機構と、上記サンプル表面を引っ掻くスクラッチ針と、該スクラッチ針の高さを決める垂直方向の位置決め機構と、回転中心からの上記スクラッチ針の水平方向距離を連続的に変化させる直線運動機構と、上記スクラッチ針にかかる摩擦力を検出する機構と、上記スクラッチ針が上記試験サンプルを引っ掻く際の荷重をかける機構とを有することを特徴とするスクラッチ強度試験装置。

IPC (2件)：

G01N 19/04 ,  G01N 3/00

FI (2件)：

G01N 19/04 C ,  G01N 3/00 Q

Fターム (5件)：

2G061BA01 ,  2G061CB16 ,  2G061CB18 ,  2G061DA01 ,  2G061EA10