静電マイクロバルブ及びマイクロポンプ

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：野口繁雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-089353
公開番号（公開出願番号）：特開2004-291187
出願日： 2003年03月27日
公開日（公表日）： 2004年10月21日
要約：

【課題】構造が単純で、試料流体を選ばず、ストロークを大きくすることができ、基板上に集積可能なマイクロ化学分析システム用のマイクロバルブ・マイクロポンプを得る。【解決手段】弾性変形可能な膜6に電極5bをつけ、これと対向するもう一つの電極5aとの間に絶縁物の作動流体を満たした加圧槽7を基板に設ける。一方、同じ基板には試料流路3の壁面も弾性変形可能な膜2で作製し、この膜2をはさんで反対側に設けた駆動槽4に加圧槽7からの作動流体が流れ込める構造とする。電極5a,5bに電圧を印加すると、静電引力で電極5a,5bが引き合い、これにより作動流体が加圧されて試料流路3を圧迫し、試料流路3の流体の流れを止めるバルブとして、あるいは試料流体を送り出すポンプとして働く。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板に形成され試料流体を流すための試料流路と、前記基板に形成され、前記試料流路との間が弾性膜で隔てられ、作動流体を介して前記弾性膜を変形させることにより前記試料流路を開閉する駆動槽と、前記基板に形成され前記駆動槽に流路で接続された加圧槽であって、この加圧槽の容積を変化させて前記作動流体の加圧を変化させる駆動弾性膜、並びにその駆動弾性膜に支持されて駆動弾性膜とともに変形可能な電極及びその電極に対向して固定された電極からなる一対の電極を備え、その一対の電極間の静電力により前記駆動弾性膜を変形させる加圧槽とを備えたことを特徴とする静電マイクロバルブ。

IPC (6件)：

B81B3/00 , F04B9/00 , F04B43/04 , F04B43/06 , F16K31/02 , G01N37/00

FI (6件)：

B81B3/00 , F04B9/00 B , F04B43/04 B , F16K31/02 Z , G01N37/00 101 , F04B43/06 A

Fターム (36件)：

3H062AA02 , 3H062AA12 , 3H062BB30 , 3H062CC04 , 3H062CC08 , 3H062HH10 , 3H075AA09 , 3H075BB04 , 3H075BB20 , 3H075BB30 , 3H075CC12 , 3H075CC16 , 3H075CC20 , 3H075CC30 , 3H075CC36 , 3H075DA01 , 3H075DA05 , 3H075DA06 , 3H075DB02 , 3H075DB10 , 3H077AA08 , 3H077BB10 , 3H077CC02 , 3H077CC09 , 3H077DD06 , 3H077DD15 , 3H077EE01 , 3H077EE22 , 3H077EE26 , 3H077EE31 , 3H077FF01 , 3H077FF06 , 3H077FF12 , 3H077FF22 , 3H077FF36 , 3H077FF45

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-303187
可変焦点光学素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-128004 出願人：オリンパス光学工業株式会社
特開平2-233887

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