特許

J-GLOBAL ID：200903050711789165

プラズマ処理装置

発明者： 荒木 陽一 ,  永関 一也 ,  望月 修二
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社 ,  東京エレクトロン山梨株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-347571
公開番号（公開出願番号）：特開平7-183270
出願日： 1993年12月24日
公開日（公表日）： 1995年07月21日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】初期放電電極又はカソード電極からのスパッタ物さらに熱電子放出部材の破損片等のパーティクルが被処理体に付着するのを抑制し、被処理体の歩留りを向上することができるプラズマ処理装置を提供する。【構成】リング状のカソード電極5と共に不活性ガスを初期放電する初期放電電極7と、前記カソード電極の前記初期放電電極7の反対面に設けられ、前記カソード電極5と同様の所定の内径を有する熱電子放出部材11と、前記カソード電極5の処理室4側に設けられ前記カソード電極5の内径より小さい内径を有する中間電極12と、この中間電極12の前記処理室4側に設けられ前記カソード電極5の内径より小さい内径を有するアノード電極13とを具備し、前記初期放電電極7の前記カソード電極5側は凸状又は曲面状又はテーパー状に形成される。

請求項（抜粋）：

不活性ガスをプラズマ化し、そのプラズマから電子を引出し加速して照射することにより、処理室内に供給される所定の反応ガスを励起してプラズマ化し、このプラズマにより被処理体の処理を行うプラズマ処理装置において、前記不活性ガスをプラズマ化する領域に設けられ、所定の内径を有するリング状のカソード電極と、このカソード電極と共に前記不活性ガスを初期放電する初期放電電極と、前記カソード電極の前記初期放電電極の反対面に設けられ、前記カソード電極と同様の所定の内径を有する熱電子放出部材と、前記カソード電極の前記処理室側に設けられ前記カソード電極の内径より小さい内径を有する中間電極と、この中間電極の前記処理室側に設けられ前記カソード電極の内径より小さい内径を有するアノード電極とを具備し、前記初期放電電極の前記カソード電極側は凸状又は曲面状又はテーパー状に形成されたことを特徴とするプラズマ処理装置。

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開平2-154143
  
• プラズマ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-175914   出願人：東京エレクトロン株式会社, 株式会社東芝
• 特開昭62-149433
  
• 特開平4-236774
  

審査官引用 (4件)

• 特開平2-154143
  
• プラズマ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-175914   出願人：東京エレクトロン株式会社, 株式会社東芝
• 特開昭62-149433
  
• 特開平4-236774