エッジ姿勢認識式の測定方法および装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田辺徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-092972
公開番号（公開出願番号）：特開平9-259289
出願日： 1996年03月25日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：

【要約】【課題】画像処理を加えることで、測定作業をより正確にできる測定方法及び測定装置を提供する。【解決手段】図面または基準ワークに関して事前に付近の検出ツールのデータに対比して、ワークの被測定物に関して対応位置で被測定ワークの測定を行なう測定方法及び装置において、エッジの姿勢を認識して、エッジが斜め方向に延びている場合、エッジの方向に対して直角またはそれに近い走査方向を自動的に演算して、検出ツールによるエッジの検出を、エッジの方向に対して直角またはそれに近い方向に走査して行う。

請求項（抜粋）：

事前に記憶されたデータに対比して、被測定ワークの測定を行なう測定方法において、被測定ワークに関してエッジの姿勢を認識して、エッジが斜め方向に延びている場合、エッジの方向に対して直角またはそれに近い走査方向を自動的に演算して、検出ツールによるエッジの検出を、エッジの方向に対して直角またはそれに近い方向に走査して行うことを特徴とする測定方法。

IPC (6件)：

G06T 9/20 , G01B 11/00 , G01B 11/24 , G01B 21/20 , G06T 7/00 , H01L 21/66

FI (6件)：

G06F 15/70 340 , G01B 11/00 H , G01B 11/24 K , G01B 21/20 C , H01L 21/66 J , G06F 15/62 405 Z

引用特許：

審査官引用 (1件)

画像測定機
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-029993 出願人：株式会社ニコン

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