特許
J-GLOBAL ID:200903050750543220

圧電/電歪デバイスおよびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 大庭 咲夫 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-076314
公開番号(公開出願番号):特開2002-289936
出願日: 2001年03月16日
公開日(公表日): 2002年10月04日
要約:
【要約】【課題】左右一対の可動部11a,11bとその一端部側に固定部11cを有する基体11と、基体11の可動部11a,11bの側面に配設した圧電/電歪素子12a,12bを具備する圧電/電歪デバイスを、部品点数の少ない構成とする。【解決手段】圧電/電歪デバイスの基体として、基体を平板状に展開した形状に打抜き加工してなる原板を屈曲加工した一体構造の基体11を採用することにより、部品点数の少ない構成の圧電/電歪デバイスを提供する。
請求項(抜粋):
左右一対の可動部およびこれら両可動部を一端部側にて互いに連結する固定部を有する基体と、同基体の前記両可動部の少なくとも一方の側面に配設した圧電/電歪素子を具備する圧電/電歪デバイスであり、前記基体は1枚の平板にて構成されていて、前記固定部は平板状を呈し、前記各可動部は、前記固定部の各側縁部から所定高さ起立して互いに対向して、固定部の各側縁部に沿って同固定部の他端部を越えて延出していることを特徴とする圧電/電歪デバイス。
IPC (5件):
H01L 41/09 ,  H01L 41/083 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22 ,  H02N 2/00
FI (7件):
H02N 2/00 B ,  H01L 41/08 J ,  H01L 41/08 N ,  H01L 41/18 101 B ,  H01L 41/18 101 C ,  H01L 41/18 101 D ,  H01L 41/22 Z
引用特許:
出願人引用 (4件)
  • 特開昭62-015410
  • 角速度センサ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平9-045587   出願人:松下電器産業株式会社
  • 音叉型圧電振動子
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平9-273557   出願人:株式会社リケン
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審査官引用 (4件)
  • 特開昭62-015410
  • 角速度センサ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平9-045587   出願人:松下電器産業株式会社
  • 音叉型圧電振動子
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平9-273557   出願人:株式会社リケン
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