ピエゾ抵抗特性を有するアモルファス炭素層を使用した機械的要素の特性値を状態測定するセンサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：矢野敏雄 , 山崎利臣 , 久野琢也 , アインゼル・フェリックス=ラインハルト
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-554684
公開番号（公開出願番号）：特表2004-517483
出願日： 2001年01月08日
公開日（公表日）： 2004年06月10日
要約：

本発明は、機械的要素の表面に作用する実際の負荷を測定するセンサに関し、この際センサとして有利には少なくとも1種の金属及び/又は非金属元素がドーピングされており、かつ測定装置と接点を介して接続されたアモルファス炭化水素層を使用する;さらに、本発明は、有利には金属及び/又は非金属元素がドーピングされた、ピエゾ抵抗特性を有する炭素層を負荷測定のためのセンサとして使用することに関し、並びに機械的要素の負荷を受けた表面の実際の負荷を測定する方法であって、その際測定センサとして有利には金属及び/又は非金属元素がドーピングされたアモルファス炭素層を使用する方法に関する。

請求項（抜粋）：

ピエゾ抵抗特性を有するアモルファス炭素層の、機械的要素(1)の負荷される表面の実際の状態量を測定するセンサとしての使用。

IPC (5件)：

H01L29/84 , C01B31/02 , C23C16/26 , G01L1/18 , G01L5/00

FI (6件)：

H01L29/84 Z , C01B31/02 101Z , C23C16/26 , G01L1/18 Z , G01L5/00 D , G01L5/00 103

Fターム (33件)：

2F051AA11 , 2F051AB08 , 4G146AA01 , 4G146AA05 , 4G146AA16 , 4G146AA17 , 4G146AB10 , 4G146AD02 , 4G146AD19 , 4G146AD28 , 4K029BA34 , 4K029BB10 , 4K029BC02 , 4K029BD00 , 4K029CA06 , 4K029CA13 , 4K030AA06 , 4K030AA09 , 4K030AA11 , 4K030BA27 , 4K030BA29 , 4K030BB05 , 4K030FA01 , 4K030LA11 , 4M112AA01 , 4M112BA01 , 4M112CA41 , 4M112CA47 , 4M112DA06 , 4M112DA09 , 4M112DA15 , 4M112EA01 , 4M112EA10

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平3-296662
微結晶炭化珪素薄膜の製造方法及びその製造方法を用いたピエゾ抵抗体
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-038008 出願人：松下電工株式会社, 松下電器産業株式会社
特開昭58-181775

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引用文献：

審査官引用 (2件)

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