屈折率が整合した基板

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：鎌田耕一 , 黒田茂
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-527379
公開番号（公開出願番号）：特表2007-505771
出願日： 2004年10月29日
公開日（公表日）： 2007年03月15日
要約：

例えばガラスまたは石英製の透明な機械的支持体(10)と、単結晶半導体材料の膜または薄層(14)と、当該薄層または半導体膜と当該支持体との間に位置する反射防止中間層(12)とを有する複合基板。当該反射防止中間層の組成は、屈折率が変化するように、当該支持体(10)と当該半導体膜(14)との間において変化する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

透明支持体(10)、半導体材料薄膜(14)、および当該透明支持体と当該半導体膜との間に埋設された少なくとも一つの反射防止薄層(12)を有し、当該反射防止薄層の組成が、屈折率が変化するように、当該支持体(10)と当該半導体膜(14)との間において変化していることを特徴とする複合基板。

IPC (6件)：

B32B 9/00 , B32B 7/02 , C03C 17/34 , H01L 33/00 , H01L 31/023 , H01L 31/052

FI (6件)：

B32B9/00 A , B32B7/02 103 , C03C17/34 Z , H01L33/00 M , H01L31/02 D , H01L31/04 G

Fターム (59件)：

4F100AA01C , 4F100AA12B , 4F100AA12C , 4F100AA13B , 4F100AA16B , 4F100AA16C , 4F100AA17B , 4F100AA20B , 4F100AB01C , 4F100AB11C , 4F100AB31B , 4F100AG00A , 4F100AR00A , 4F100BA03 , 4F100BA10A , 4F100BA10C , 4F100BA44B , 4F100GB41 , 4F100JG00C , 4F100JG04B , 4F100JN01A , 4F100JN06B , 4F100JN18B , 4G059AA08 , 4G059AC04 , 4G059AC11 , 4G059EA11 , 4G059EA12 , 4G059EA13 , 4G059EB01 , 4G059EB04 , 4G059GA01 , 4G059GA12 , 5F041AA03 , 5F041CA24 , 5F041CA25 , 5F041CA35 , 5F041CA40 , 5F041CA46 , 5F041CA77 , 5F041CB36 , 5F051AA02 , 5F051AA03 , 5F051CB12 , 5F051CB19 , 5F051CB21 , 5F051CB30 , 5F051FA02 , 5F051GA03 , 5F051GA04 , 5F051HA03 , 5F051HA06 , 5F088BA01 , 5F088CB20 , 5F088GA02 , 5F088GA04 , 5F088GA09 , 5F088HA03 , 5F088HA20

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭61-141185
特許第6597112号
特公昭49-048273

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