耐摩耗性部材およびその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：光石俊郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-178080
公開番号（公開出願番号）：特開平11-021663
出願日： 1997年07月03日
公開日（公表日）： 1999年01月26日
要約：

【要約】【課題】窒素の組成比が高い窒化炭素膜を有する耐摩耗性部材およびその製造方法を提供する。【解決手段】基材1を基材ホルダ12に設置した後、真空容器11内を2×10-6torr以下に予備排気したら、窒素または窒素含有ガスをイオン源14に供給し、当該イオン源14から基材1に向けて窒素または窒素を含有するガスのイオン3aを照射すると同時に、蒸発源13から基材1に向けて炭素蒸気2aを照射して蒸着させることにより、窒素の組成比の高い窒化炭素膜の成膜された耐摩耗性部材を得る。

請求項（抜粋）：