特許

J-GLOBAL ID：200903050769588860

湿度センサ素子の製造方法及び湿度センサ素子

発明者： 渋江 明
出願人/特許権者： TDK株式会社
代理人 (4件)： 長谷川 芳樹 ,  寺崎 史朗 ,  阿部 豊隆 ,  青木 博昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-106683
公開番号（公開出願番号）：特開2005-291886
出願日： 2004年03月31日
公開日（公表日）： 2005年10月20日
要約：

【課題】 初期出力のバラツキを低減できる湿度センサ素子の製造方法及び湿度センサ素子を提供する。【解決手段】 本発明の湿度センサ素子は、絶縁基板1の一面1a上に、互いに対向するように設けられた一対の電極3と、一対の電極3上に設けられた感湿膜9とを備える。この感湿膜9は、一対の電極3間のギャップ17上に設けられる非盛り上がり部9cと、非盛り上がり部9cの外側に非盛り上がり部9cに隣接して設けられる盛り上がり部9a,9bとを有する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

絶縁基板の一面上に、互いに対向するように形成された一対の電極上に感湿膜を形成する感湿膜形成工程を含む湿度センサ素子の製造方法であって、 前記感湿膜形成工程において、前記一対の電極間のギャップ上に非盛り上がり部が形成され、前記非盛り上がり部の外側に前記非盛り上がり部に隣接して盛り上がり部が形成されるように前記感湿膜を形成することを特徴とする湿度センサ素子の製造方法。

IPC (2件)：

G01N27/12 ,  G01N27/00

FI (4件)：

G01N27/12 M ,  G01N27/12 G ,  G01N27/12 H ,  G01N27/00 B

Fターム (29件)：

2G046AA09 ,  2G046BA01 ,  2G046BA09 ,  2G046BB02 ,  2G046BB04 ,  2G046BC03 ,  2G046BC04 ,  2G046BC05 ,  2G046DC13 ,  2G046EA02 ,  2G046EA04 ,  2G046EA08 ,  2G046EA09 ,  2G046EA12 ,  2G046EB07 ,  2G046FA01 ,  2G046FE00 ,  2G046FE02 ,  2G046FE11 ,  2G046FE29 ,  2G046FE31 ,  2G046FE35 ,  2G060AA01 ,  2G060AB02 ,  2G060AF07 ,  2G060AG08 ,  2G060AG10 ,  2G060BB10 ,  2G060JA02

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 湿度センサ及び湿度センサの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-007241   出願人：ティーディーケイ株式会社