特許
J-GLOBAL ID：200903050792678630
マイクロアクチュエータ装置、光スイッチシステム及び光学装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
四宮 通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-375157
公開番号（公開出願番号）：特開2007-178587
出願日： 2005年12月27日
公開日（公表日）： 2007年07月12日
要約：
【課題】残留電荷のリークの影響による誤動作が生ずるおそれをなくす。【解決手段】マイクロアクチュエータ装置は、複数のマイクロアクチュエータと、これらを駆動する駆動回路とを有する。駆動回路は、各アクチュエータの可動部の固定電極及び可動電極がなすコンデンサCmnに関して、行選択信号に連動してオン・オフするとともに互いに相補的にオン・オフする行選択信号連動スイッチMmnaa,Mmnabと、列選択信号に連動してオン・オフするとともに互いに相補的にオン・オフする列選択信号連動スイッチMnba,Mnbbと、を有する。これにより、コンデンサCmnの両電極は、常に、電位供給端子Va,Vbのいずれかに接続される。【選択図】図8
請求項（抜粋）：
複数のマイクロアクチュエータと、前記複数のマイクロアクチュエータを駆動する駆動回路と、を備え、
前記各マイクロアクチュエータは、固定部に対して移動し得るように設けられた可動部と、前記可動部に設けられた第1の電極部と、前記固定部に設けられ前記第1の電極部との間の電圧により静電力を生じ得る第2の電極部と、前記可動部に設けられ静電力以外の駆動力を生じ得る駆動力発生部と、を有し、
前記駆動回路は、前記複数のマイクロアクチュエータの行を選択する行選択信号に連動してオン・オフする複数対の行選択信号連動スイッチと、前記複数のマイクロアクチュエータの列を選択する列選択信号に連動してオン・オフする複数対の列選択信号連動スイッチと、それぞれ電位が印加される第1及び第2の電位供給端子とを有し、
前記各対の行選択信号連動スイッチは、互いに相補的にオン・オフする2つの行選択信号連動スイッチからなり、
前記各対の列選択信号連動スイッチは、互いに相補的にオン・オフする2つの列選択信号連動スイッチからなり、
前記各マイクロアクチュエータに関して、当該マイクロアクチュエータの前記第1及び第2の電極部のうちの一方の電極部が前記第1の電位供給端子に電気的に接続され、
前記各マイクロアクチュエータに関して、当該マイクロアクチュエータの前記第1及び第2の電極部のうちの他方の電極部が、前記行選択信号及び前記列選択信号がいずれの状態であっても、前記複数の対の行選択信号連動スイッチのうちの1対の行選択信号連動スイッチ及び前記複数の対の列選択信号連動スイッチのうちの1対の列選択信号連動スイッチからなる合計4つのスイッチのうちの、オン状態の1つ又は2つのスイッチを経由して、前記第1及び第2の電位供給端子のうちのいずれか一方に電気的に接続される、
ことを特徴とすることを特徴とするマイクロアクチュエータ装置。
IPC (5件)：
G02B 26/08
, H02N 1/00
, B81B 3/00
, B81B 7/04
, B81B 7/02
G02B26/08 E
, H02N1/00
, B81B3/00
, B81B7/04
, B81B7/02
2H041AA14
, 2H041AA15
, 2H041AA16
, 2H041AB13
, 2H041AC06
, 2H041AZ02
, 2H041AZ08
