特許
J-GLOBAL ID：200903033930881695

マイクロアクチュエータ、並びに、これを用いたマイクロアクチュエータ装置、光スイッチ及び光スイッチアレー

発明者：
赤川 圭一

赤川 圭一 について

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石津谷 徹

石津谷 徹 について

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鈴木 純児

鈴木 純児 について

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鈴木 美彦

鈴木 美彦 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 四宮 通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-368060
公開番号（公開出願番号）：特開2003-159698
出願日： 2001年12月03日
公開日（公表日）： 2003年06月03日
要約：
【要約】【課題】 高い電圧をかけたり小型化を損なったりすることなく、可動部の可動範囲を広げ、しかも、消費電力を低減する。【解決手段】 可動板21は、フレクチュア部27a,27bを介して基板11に固定され、基板11に対して上下動し得る。基板11は固定電極を兼用する。可動板21は、基板11との間の電圧により基板11との間に静電力を生じ得る第2の電極部23a,23bと、磁界内に配置されて通電によりローレンツ力を生ずる電流経路25と、を有する。光路に進出及び退出するミラー12が、可動板21に設けられている。
請求項（抜粋）：
固定部と、該固定部に対して移動し得るように設けられた可動部と、を備え、前記固定部は第1の電極部を有し、前記可動部は、前記第1の電極部との間の電圧により前記第1の電極部との間に静電力を生じ得る第2の電極部と、磁界内に配置されて通電によりローレンツ力を生ずる電流経路と、を有する、ことを特徴とするマイクロアクチュエータ。
IPC (3件)：
B81B 7/02 ,  B81B 3/00 ,  G02B 26/08
FI (3件)：
B81B 7/02 ,  B81B 3/00 ,  G02B 26/08 E
Fターム (6件)：
2H041AA16 ,  2H041AB13 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ05 ,  2H041AZ08
引用特許：
審査官引用 (3件)

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