特許
J-GLOBAL ID：200903050795366000
フラットディスプレイパネル熱処理用平板とその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
渡邉 一平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-179462
公開番号（公開出願番号）：特開2001-004286
出願日： 1999年06月25日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：
【要約】【課題】 結晶化ガラス板よりもたわみにくく、高い熱伝導度を持ち、フラットディスプレイパネル熱処理時のプリントの欠陥や乾燥・焼きつけのムラが生じにくいフラットディスプレイパネル熱処理用平板を提供する。【解決手段】 フラットディスプレイパネルの熱処理の際にフラットディスプレイパネルを載置するために用いる熱処理用平板1である。炭化珪素に金属珪素を含浸させたセラミック材からなる。炭化珪素粉末と炭素粉末とを所定の割合で混合し成形して得られた平板状の炭化珪素-炭素質成形体を、金属珪素が存在する減圧の不活性ガス雰囲気又は真空中において前記金属珪素を含浸させながら焼成するフラットディスプレイパネル熱処理用平板の製造方法である。
請求項（抜粋）：
フラットディスプレイパネルの熱処理の際にフラットディスプレイパネルを載置するために用いる熱処理用平板であって、炭化珪素に金属珪素を含浸させたセラミック材からなることを特徴とするフラットディスプレイパネル熱処理用平板。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F27D 3/12 S
, C04B 41/88 U
4K055AA06
, 4K055HA02
, 4K055HA11
, 4K055HA23
, 4K055HA27
