センサターミナルシステム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：中村公達 , 宮部岳志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-140875
公開番号（公開出願番号）：特開2007-310747
出願日： 2006年05月19日
公開日（公表日）： 2007年11月29日
要約：

【課題】本発明は、共通データ信号線7,8に監視信号を重畳し、信号線の接続を減ずると共に、各々のセンサ子局の動作時期を時分割し、動作時の電力量を減らすとともに、被検出体の間にセンサを割り込ませることなく検出することを特徴とするセンサターミナルシステム66に関する。【解決手段】本発明は、薄板状のガラス基板やプリント基板または、半導体基板などを被検出体とするストッカなどの棚状の保管管理場所に前記薄板状のガラス基板やプリント基板または、半導体基板をロボットにて搬送し、保管、管理する場合、それぞれの保管状態として、前記薄板状の物の有無や、位置情報を被検出体の間にセンサ子局を割込ませることなく、被検出体の側面において検出し、保管、管理情報を得る場合に用いるセンサターミナルに関する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

各々が被制御部のセンサ部を監視する複数の検出ヘッドであるセンサターミナルを有し、前記複数の検出ヘッドを有する前記センサターミナルを共通データ信号線に接続し、前記センサ部からの監視信号を、前記共通データ信号線を介して、制御部に伝送するセンサターミナルシステムであり、所定の同期伝送クロックに同期したタイミング移動信号又は投光タイミング移動信号を発生するためのタイミング移動信号発生回路と、前記タイミング移動信号又は前記投光タイミング移動信号の制御下で、被検出体を検出する各々の前記複数の検出ヘッドである前記センサターミナルの中に構成される単一の検出用投光器或いは複数の検出用投光器を、前記同期伝送クロックに基づいて順次個別の前記センサターミナル中の前記単一検出用投光器或いは複数の前記検出用投光器を発光させる投光信号発生回路と、前記単一の検出用投光器或いは複数の前記検出用投光器の発光タイミングに応じ、単一の検出用受光信号或いは複数の前記検出用受光信号を受光する検出受光回路と、前記検出用受光信号を保持する動作表示回路と、前記単一の検出用受光信号或いは複数の前記検出用受光信号を監視信号として共通データ信号線に送出する伝送出力信号回路とを備えたセンサターミナルシステムにおいて、検出ヘッドである前記センサターミナルの順次アドレス番地のタイミング移動信号を、前記センサターミナルの次に続く順位の検出ヘッドである前記センサターミナルに順次アドレス信号として送ることにより、前記複数の検出ヘッドである前記センサターミナルからセンサ信号を取り込むセンサターミナルシステムであり、又は、順次アドレス番地に対応するセンサターミナルに前記タイミング移動信号を検出投光信号として順次送ることにより、複数の任意の前記検出ヘッドである前記センサターミナルから前記センサ信号を取り込むセンサターミナルシステムであって、被検出体の側面を検出するセンサターミナル側面が単一或いは複数の検出用投光回路を具備し、前記センサターミナルの側面に具備した単一或いは複数の検出用受光回路で受光し、板状被検出体の側面に対応した検出用投光信号を投光し、その反射光を検出用受光信号として検出することを特徴としたセンサターミナルシステム。

IPC (1件)：

G08C 15/00

FI (1件)：

G08C15/00 E

Fターム (20件)：

2F073AA19 , 2F073AA22 , 2F073AB02 , 2F073AB03 , 2F073AB12 , 2F073AB14 , 2F073BB04 , 2F073BC01 , 2F073CC01 , 2F073CC05 , 2F073CC10 , 2F073CD11 , 2F073DD05 , 2F073DE03 , 2F073DE17 , 2F073FG05 , 2F073GG02 , 2F073GG03 , 2F073GG04 , 2F073GG07

引用特許：

出願人引用 (1件)

ウエハ等の検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-247878 出願人：竹中電子工業株式会社

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