特許
J-GLOBAL ID：200903076101127127

ウエハ等の検出装置

発明者：
浜田一義

浜田一義 について

, 
島田 守

島田 守 について


出願人/特許権者：
竹中電子工業株式会社

竹中電子工業株式会社 について


代理人 (1件)： 武石 靖彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-247878
公開番号（公開出願番号）：特開平11-074331
出願日： 1997年08月27日
公開日（公表日）： 1999年03月16日
要約：
【要約】【課題】 薄型両方向性の検出ヘッドの配列を用いてウエハ等検出装置を構成することである。【解決手段】 保持した光ファイバの後端面を投光素子P又は受光素子Dに接することにより、互いに背反する方向に光を出射するか、又は入射する光を受けるようにした複数の検出ヘッド本体4と、前記検出ヘッド本体を支持する複数のファイバホルダ5と、前記複数のファイバホルダをそれぞれ直立させ、横方向に直線状に配列・保持するために前記ファイバホルダの下部横断面に対応する開口を持った複数の上部保持孔26の配列及び前記複数の上部保持孔の下端に連なって交互に投光素子Pと、受光素子Dを直接収納するための素子収納孔30及び31の交互配列とを有する保持ベース手段6、及び素子収納孔の交互配列に対応する投光素子及び受光素子の交互配列を支持した素子配列回路板28を備えたものである。
請求項（抜粋）：
a)後端面が1個の投光素子、又は1個の受光素子のいずれかに接するようにした光ファイバの前端面を2区分し各区分にそれぞれ第1平面が近接・対応するように平行配置された一対の反射プリズムを含み、前記一対の反射プリズムの各第2平面が、互いに背反する方向に光を出射するか又は背反する方向から光を入射させるための光学平面となるようにした複数の検出ヘッド本体と、b)前記光ファイバをそれぞれ収容し、各上端部において前記検出ヘッド本体を支持することにより、前記光ファイバの前端面に対する前記一対の反射プリズムにおける第1平面の近接・対応配置を許容する複数のファイバホルダと、c)前記複数のファイバホルダをそれぞれ直立させ、横方向に直線状に配列するとともに、各ファイバホルダに支持された各一対の反射プリズムにおける入射光軸又は出射光軸が1本の直線に沿うように、前記複数のファイバホルダの下端部を保持するための上部保持孔の配列と、前記配列された各上部保持孔の下端に連なって交互に投光素子、及び受光素子を収納し、且つこれらの素子を対応するファイバホルダ下端部における光ファイバ後端面に接触させるための投光素子収納孔及び受光素子収納孔の交互配列とを有する保持ベース手段、及びd)前記投光素子収納孔及び受光素子収納孔の交互配列に対応する投光素子及び受光素子の交互配列を支持した素子配列回路板であって、これらの素子を対応する素子収納孔に収納させるように前記保持ベース手段に関連配置されたことにより、各素子収納孔を封蓋して同孔内の素子収納間隙からの漏光を遮断するようにしたものを備え、e)順次隣接する検出ヘッド間及びこれに連続するファイバホルダ間を各被検ウエハ等の挿入空間としたことを特徴とするウエハ等の検出装置。
IPC (5件)：
H01L 21/68 ,  G01B 11/00 ,  G02B 6/34 ,  G02B 6/42 ,  H01L 31/12
FI (5件)：
H01L 21/68 L ,  G01B 11/00 A ,  G02B 6/34 ,  G02B 6/42 ,  H01L 31/12 Z
引用特許：
審査官引用 (4件)
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