特許
J-GLOBAL ID：200903050873563012
電界放出型電子源およびアレイ状基板
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
植本 雅治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-301886
公開番号（公開出願番号）：特開平6-131968
出願日： 1992年10月14日
公開日（公表日）： 1994年05月13日
要約：
【要約】【目的】 安定した放出特性をもち、また、陰極特性の経時変化を有効に抑えることが可能である。【構成】 基板1上に、ホール7の形成された絶縁層2が設けられ、この絶縁層2のホール7の中心部に、基板1と接して(あるいは基板1と一体の)円錐形のエミッタ3が設けられている。ここで、エミッタ3の表面には、硬質炭素膜または炭化物層からなる被覆膜4が形成されている。また、絶縁層2の基板1とは反対側の面には制御用のゲート電極5が設けられており、さらに、ゲート電極5の上方には、エミッタ3と所定の間隔をへだててアノード6が配置されている。エミッタ3の表面に硬質炭素膜または炭化物層の被覆膜が設けられているので、エミッタ3に雰囲気ガスが吸着されにくく、安定した放出特性を得ることができる。
請求項（抜粋）：
エミッタ部に強電界が印加されることにより、エミッタ部から電子を放出させる構成の電界放出型電子源において、前記エミッタ部の表面には硬質炭素膜の被覆膜が設けられていることを特徴とする電界放出型電子源。
IPC (2件)：
引用特許：
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