分光測定装置のデータ処理方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小林良平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-168213
公開番号（公開出願番号）：特開平8-334410
出願日： 1995年06月08日
公開日（公表日）： 1996年12月17日
要約：

【要約】【目的】光学系で生ずる分光画像の歪みや変形を補正できる分光測定装置のデータ処理方法を提供する。【構成】微小パターンを線領域内の位置Yk(k=1〜m)に有する基準試料Aを分光測定し、m本の曲線Ckを有する分光画像Bを得る。この曲線に基づいて、基準試料上のパターンに対する波長方向と光検出器を構成する受光素子の位置との対応関係を得て補正情報とする。試料測定時には、この補正情報に基づき選択した受光素子から信号を読み出す。

請求項（抜粋）：

試料上の一次元領域を分光測定するに際し、複数の受光素子が二次元的に配列された光検出器の一つの次元方向に該試料のスリット長手方向に対応した像が投影され、他の次元方向に光が分散するように光学系が構成される分光測定装置に用いられるデータ処理方法において、測定対象の試料の分光測定に先立ち、特定の分光分布及びパターンを有する基準試料を分光測定し、測定結果である分光分布パターンに対応する受光素子の位置を補正情報として記憶しておき、分光測定する際に、前記補正情報を用いて各受光素子による検出信号を処理することを特徴とするデータ処理方法。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平2-226028
ラマン分光光度計
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-011237 出願人：新技術事業団, 市村勉
特開平2-252375

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