特許
J-GLOBAL ID：200903050902825315
リフタ及びリフタを備える被処理体の処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
河野 登夫
, 河野 英仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-064410
公開番号（公開出願番号）：特開2007-242954
出願日： 2006年03月09日
公開日（公表日）： 2007年09月20日
要約：
【課題】処理装置への組み付け時に、ピンのピン挿通孔への位置合わせが容易であり、径を大きくしてピンの破損を抑制することが出来、処理時に、ピンが被処理体に吸着されることがなく、被処理体の搬送エラーが生じないリフタ、及びこのリフタを備える被処理体の処理装置を提供する。【解決手段】リフタアーム91の貫通孔91cには、鍔部102a、遊動部102b及び螺合部102c及びピン挿入孔102dを備えるピン固定部102が嵌められている。ピン93は、下端部がピン挿入部102dにねじ止めされている。遊動部102bは貫通孔91cに遊嵌され、鍔部102aはリフタアーム91の上面に当接している。螺合部102cは貫通孔91cから突出しており、下側固定部103は、螺合部102cに螺合された状態で、リフタアーム91の下面に当接している。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
チャンバ内で処理される被処理体を載置する載置台に貫設した複数の孔に挿通させる複数のピンと、リフタアームと、前記ピンを前記リフタアームに支持するピン固定部とを備え、前記ピンを前記リフタアームに支持した状態で昇降することにより、前記孔から前記ピンを出没させるリフタにおいて、
前記リフタアームには、前記ピン固定部を遊嵌する貫通孔が設けられており、
前記ピン固定部は、
内部に前記ピンの下端部を固定するピン挿入孔を有し、前記貫通孔に遊嵌される遊動部と、
該遊動部の上側に連設され、該遊動部より大径であり、内側を前記ピンが貫通した状態で前記リフタアームの上面に当接する、鍔状の支持部と、
前記遊動部の下側に連設され、前記貫通孔から突出した螺合部と、
該螺合部に螺合した状態で、前記リフタアームの下面に当接し、前記遊動部を下側に接続する下側固定部と
を備え、
前記貫通孔内に、前記遊動部との間で形成する環状の隙間が設けられており、
該隙間により、ピン固定部が可動し、ピンが可動することを特徴とするリフタ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/68 N
, H01L21/31 A
5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031HA03
, 5F031HA33
, 5F031MA30
, 5F031MA32
, 5F031PA07
, 5F031PA08
, 5F031PA09
, 5F031PA11
, 5F045AA20
, 5F045AB34
, 5F045AC11
, 5F045AC12
, 5F045AC15
, 5F045AC16
, 5F045AF03
, 5F045BB10
, 5F045DQ10
, 5F045EM06
