特許

J-GLOBAL ID：200903050922175260

ガス供給設備

発明者： 重田 賢二 ,  星 朝秋 ,  石原 良夫
出願人/特許権者： 日本酸素株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-228656
公開番号（公開出願番号）：特開2003-042399
出願日： 2001年07月27日
公開日（公表日）： 2003年02月13日
要約：

【要約】【課題】 ガス漏洩検知器の数を最小限とし、生産効率の低下を防ぎ、しかもガス供給配管の施工を容易にすることができるガス供給設備を提供する。【解決手段】 ガス容器31、32からガス消費設備39にガスを供給するガス供給設備であって、ガス容器31、32を収納するガスキャビネット33、34とガス消費設備39とを、少なくとも1本のガス供給配管35、36を収納した空洞状ダクト37により接続したガス供給設備。ガスキャビネット33、34またはガス消費設備39に、ガスを系外に導出する吸引口42を少なくとも1つ付設し、吸引口42の近傍にガス漏洩検知器43を備える。空洞状ダクト37は、耐熱難燃性素材の配管または金属製の配管であり、かつ直管部、屈曲部および伸縮部のうち少なくとも1つで構成されている。

請求項（抜粋）：

ガス容器内のガスを、ガス供給配管を通してガス消費設備に供給するガス供給設備であって、ガス容器を収納するガスキャビネットと、ガス消費設備とを、ガス供給配管を収納した空洞状ダクトにより接続したことを特徴とするガス供給設備。

IPC (3件)：

F17D 5/02 ,  C23C 16/44 ,  H01L 21/205

FI (3件)：

F17D 5/02 ,  C23C 16/44 B ,  H01L 21/205

Fターム (22件)：

3J071AA02 ,  3J071BB11 ,  3J071CC01 ,  3J071DD30 ,  3J071EE37 ,  3J071FF11 ,  4K030AA02 ,  4K030AA06 ,  4K030AA11 ,  4K030EA03 ,  4K030KA39 ,  4K030KA46 ,  4K030LA15 ,  4K030LA16 ,  5F045BB08 ,  5F045BB10 ,  5F045BB20 ,  5F045EC07 ,  5F045EC08 ,  5F045EE01 ,  5F045EE02 ,  5F045EE11

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 反応ガス供給装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-197529   出願人：ソニー株式会社