特許
J-GLOBAL ID：200903050942582075
熱電材料の作製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
北村 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-185337
公開番号（公開出願番号）：特開平9-036440
出願日： 1995年07月21日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：
【要約】【目的】 工程が簡便であるとともに不純物の混入を避けることができ、さらに、熱電材料として使用する場合に、素子全体として高い性能指数を示す熱電材料を得る。【構成】 成分組成比の異なった複数のターゲットを作製し、これらのターゲットから基板に蒸着される各成分の量を経時的に変化させて傾斜性を有する熱電材料を得る。
請求項（抜粋）：
ビスマス、テルル、アンチモン、セレンから選択される少なくとも2種以上を含む熱電材料を作製する熱電材料の作製方法であって、前記4種の成分のうちのいずれか1種以上を異なった組成比で含有する複数のターゲット(10)を作製するとともに、減圧真空維持される成膜室(6)内に、成膜対象の基板(3)に対向して前記複数のターゲット(10)を配設し、前記複数のターゲット(10)にレーザー光(5)を照射して前記複数のターゲット(10)より複数のプルーム(15)を発生させて前記基板(3)上に蒸着させて、レーザーアブレーション法により前記熱電材料を作製する熱電材料の作製方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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