特許
J-GLOBAL ID:200903050957121651

ICテストハンドラ用テストトレイの機構

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-336070
公開番号(公開出願番号):特開平8-179006
出願日: 1994年12月22日
公開日(公表日): 1996年07月12日
要約:
【要約】【目的】 ICテストハンドラ用テストトレイの機構において、ICテスタによる測定結果に基づくカテゴリ区分別の分類が、正確に行える構成を提供する。【構成】 テストトレイ7にはIDコード4を被測定対象ICデバイス5個々にもカテゴリデータ6を付与し、IDコード4を持つテストトレイ7上に収納される各被測定対象ICデバイス5の周辺に、テスト部3での測定結果に基づいて書き込み、消去ができる構造のID板13から成るカテゴリデータ6部を設け、テスト部3でのカテゴリ区分判定データによってカテゴリデータ6部のID板13に書き込み、アンローダ部10ではテストトレイ7のIDコード4でテスト部3からカテゴリ区分判定データを呼び出し、それとIDコード4とカテゴリデータ6部の3者のデータが一致したときのみカテゴリ区分別に分類する、機構。
請求項(抜粋):
ICテスタ用ハンドラ内で使用し固有のIDコード(4)をもつテストトレイ(7)上に収納する各被測定対象ICデバイス(5)の周辺に、各被測定対象デバイス(5)の測定結果にもとづいて、書き込み、消去が行える構造のID板(13)から成るカテゴリデータ(6)部と、被測定対象ICデバイス(5)を収納したテストトレイ(7)が、ローダ部(1)から搬入されるとテストトレイ(7)のIDコード(4)が所定のものであることを確認するIDコード読み取り部(2、22、32)と、テストトレイ(5)のIDコード(4)が所定のものであれば、テスト部(3)に搬入して測定を開始し、各被測定対象ICデバイス(5)の測定結果に基づいてカテゴリデータ(6)部への書き込みを行うカテゴリデータ書き込み部(8)と、カテゴリデータ(6)部への書き込み後、テストトレイ(7)はアンローダ部(10)に搬入され、テストトレイ(7)のIDコード(4)でテスト部(3)からデータを呼び出し、IDコード(4)とカテゴリデータ(6)の双方のデータが一致したときのみカテゴリ別に分類し、一致しない場合にはリテストに分類することを判定するための、IDコード(4)及びカテゴリデータ読み取り部(12)と、分類(11)後排出されたテストトレイ(7)上のカテゴリデータ(6)部のデータを消去するリセット部(9)と、を具備することを特徴とするICテストハンドラ用テストトレイの機構。
IPC (2件):
G01R 31/26 ,  H01L 21/66
引用特許:
審査官引用 (7件)
  • 半導体装置の製造方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平4-297917   出願人:ソニー株式会社
  • 特開平4-080672
  • 特開平3-022382
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