特許
J-GLOBAL ID：200903050957622057
光学多層膜フィルタ
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-022014
公開番号（公開出願番号）：特開平7-209516
出願日： 1994年01月21日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：
【要約】【目的】 誘電体多層膜の膜層数を40層以上にしても、従来の光学多層膜フィルタに比べ、膜の応力や反りの小さい光学多層膜フィルタを提供することを目的とするものである。【構成】 ガラス基板10は、50×50×0.3mmの寸法を有するホウケイ酸ガラスから形成されており、その片面には、蒸着法によってTiO2 及びSiO2 からなる層が交互に30層重ね合わされてなる誘電体多層膜11が形成されてなり、他面には、同じく蒸着法によってTiO2 とSiO2 が交互に14層重ね合わされてなる誘電体多層膜12が形成されてなる。
請求項（抜粋）：
透明基板の両面に、高屈折率材料層と低屈折率材料層が交互に重ね合わされてなる誘電体多層膜が形成され、両方の誘電体多層膜を合わせて40層以上の膜層を有することを特徴とする光学多層膜フィルタ。
引用特許：
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