特許

J-GLOBAL ID：200903050962727568

プローブの製造方法及びプローブ

発明者： 大澤 日佐雄 ,  大津 元一
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-039755
公開番号（公開出願番号）：特開平5-241076
出願日： 1992年02月26日
公開日（公表日）： 1993年09月21日
要約：

【要約】【目的】広範囲の尖り角θを有するプローブの製造を容易にする。【構成】酸化ゲルマニウムを添加した石英コア(1) とクラッド(2) からなる光ファイバーを、「フッ酸、水及びフッ化アンモニウムからなる混合エッチング液」でエッチングして該光ファイバーの先端部を先鋭化する。エッチング液の成分比を変えることでプローブの尖り角θを変えられる。【効果】原料の光ファイバーを多種類用意することなく、成分比を変えた混合エッチング液を使用することでプローブの先端部の尖り角を広範囲に自由に変えられる。更に、平滑なエッチング面を持つプローブを再現性良く製造できる。

請求項（抜粋）：

酸化ゲルマニウムを添加した石英コアとクラッドからなる光ファイバーを、「フッ酸、水及びフッ化アンモニウムからなる混合エッチング液」でエッチングして、該ファイバーの先端部を先鋭化することを特徴とするプローブの製造方法。

IPC (2件)：

G02B 21/00 ,  G02B 6/00