特許
J-GLOBAL ID：200903050966806845
基板の処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-006904
公開番号（公開出願番号）：特開平7-204593
出願日： 1994年01月26日
公開日（公表日）： 1995年08月08日
要約：
【要約】【目的】 この発明は超音波振動が付与された洗浄液で基板を洗浄する際、その洗浄効果を高めることができるようにした基板の処理装置を提供することにある。【構成】 超音波振動が付与された洗浄液によって基板を洗浄する基板の処理装置において、上記基板Wを所定方向に搬送する搬送路2と、上記基板の搬送方向と交差する上下方向のうちの少なくとも上方に配置され洗浄液に超音波振動を付与しその洗浄液を上記基板に向けてスリット状に噴射するスリット36を有する超音波洗浄ユニット31とを具備し、上記超音波洗浄ユニットから噴出される洗浄液の噴出方向は、上記基板の搬送方向と逆方向に所定の角度で傾斜するよう設定されてなることを特徴とする
請求項（抜粋）：
超音波振動が付与された洗浄液によって基板を洗浄する基板の処理装置において、上記基板を所定方向に搬送する搬送手段と、上記基板の搬送方向と交差する上下方向のうちの少なくとも上方に配置され洗浄液に超音波振動を付与しその洗浄液を上記基板に向けてスリット状に噴射するスリットを有する超音波洗浄ユニットとを具備し、上記超音波洗浄ユニットから噴出される洗浄液の噴出方向は、上記基板の搬送方向と逆方向に所定の角度で傾斜するよう設定されてなることを特徴とする基板の洗浄装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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