特許
J-GLOBAL ID:200903050973931515
収納容器の蓋体
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
藤本 英介 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-371634
公開番号(公開出願番号):特開2003-174081
出願日: 2001年12月05日
公開日(公表日): 2003年06月20日
要約:
【要約】【課題】 蓋体開閉の自動処理が可能で、後工程の受け入れ工程でも前工程で使用される収納容器と互換性を有する蓋体付きの収納容器を得ることができ、蓋体の開閉や基板の移し替え時に専用装置を必要としない安価な収納容器の蓋体を提供する。【解決手段】 複数枚の精密基板を整列状態に収納する容器本体1の開口正面を蓋体9で着脱自在に嵌合閉鎖するもので、蓋体9を、容器本体1の開口正面にシール可能に嵌合する断面略U字形の嵌合プレート10と、嵌合プレート10内の両側部に配設され、外部操作に基づいて容器本体1の開口正面に嵌合された嵌合プレート10を施錠又は解錠する一対の係止機構と、嵌合プレート10の表面に装着されて各係止機構を被覆する着脱自在のカバー体40とから構成する。そして、各カバー体40に係止機構用の貫通操作孔43を穿孔する。
請求項(抜粋):
容器本体の開口部を蓋体で着脱自在に覆う収納容器の蓋体であって、上記蓋体を、上記容器本体の開口部に嵌め入れられる嵌合プレートと、この嵌合プレートに取り付けられ、外部操作に基づいて上記容器本体の開口部に嵌め入れられた嵌合プレートを施錠又は解錠する係止機構と、該嵌合プレートの表面に取り付けられて該係止機構を覆うカバー体とから構成し、このカバー体に該係止機構用の貫通操作孔を設けたことを特徴とする収納容器の蓋体。
IPC (3件):
H01L 21/68
, B65D 55/14
, B65D 85/86
FI (3件):
H01L 21/68 T
, B65D 55/14 Z
, B65D 85/38 R
Fターム (41件):
3E084AA05
, 3E084AA14
, 3E084AA24
, 3E084AB10
, 3E084BA02
, 3E084CA03
, 3E084CC03
, 3E084DA03
, 3E084DC03
, 3E084FA09
, 3E084FC11
, 3E084GA08
, 3E084GB12
, 3E084GB21
, 3E096AA06
, 3E096BA15
, 3E096BA16
, 3E096BB08
, 3E096CA02
, 3E096CA08
, 3E096CB03
, 3E096CC02
, 3E096DA17
, 3E096DA25
, 3E096DB06
, 3E096DC04
, 3E096EA02X
, 3E096EA02Y
, 3E096FA30
, 3E096FA31
, 3E096GA07
, 3E096GA13
, 5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031DA08
, 5F031EA02
, 5F031EA12
, 5F031EA14
, 5F031EA20
, 5F031FA01
, 5F031FA09
引用特許:
審査官引用 (2件)
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ウェハー搬送モジュール
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-196035
出願人:フルオロウェア・インコーポレーテッド
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ウェハーキャリヤ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-298859
出願人:フルオロウェア・インコーポレーテッド
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