特許
J-GLOBAL ID：200903051000985081
固体撮像素子及び固体撮像素子の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
角田 芳末
, 磯山 弘信
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-162782
公開番号（公開出願番号）：特開2004-363493
出願日： 2003年06月06日
公開日（公表日）： 2004年12月24日
要約：
【課題】感度ムラや色ムラの発生を抑えて、受光部上の透過率を高くして感度の向上を図ることができると共に、製造中の水素アニールにより暗電流の発生を抑制することが可能な固体撮像素子及び固体撮像素子の製造方法を提供する。【解決手段】電荷転送部3の転送電極4,5を同一層の電極層により構成し、基板上に、基板上の酸化膜とその上の窒化膜とを含む絶縁膜を介して転送電極4,5を形成し、電荷転送部3に平行な方向における受光部2間に、窒化膜が除去された部分7を設けて固体撮像素子1を構成する。また、基板上に酸化膜と窒化膜とを順次成膜する工程と、上記受光部2間となる部分において、窒化膜を除去して開口7を形成する工程と、この開口7内を埋めて酸化膜を形成する工程と、その後、同一層の電極層により転送電極4,5を形成する工程とを有して、前記固体撮像素子1を製造する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ライン状又はマトリクス状に配置された受光部の、少なくとも一列の一側に電荷転送部が設けられ、
前記電荷転送部の転送電極が、同一層の電極層により構成され、
基板と前記転送電極との間の絶縁膜が、前記基板上の酸化膜とその上の窒化膜とを含み、
前記電荷転送部に平行な方向における前記受光部間に、前記窒化膜が除去された部分が設けられている
ことを特徴とする固体撮像素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L27/14 B
, H04N5/335 F
4M118AA05
, 4M118AB01
, 4M118BA13
, 4M118CA03
, 4M118CA32
, 4M118DA18
, 4M118DA28
, 4M118EA01
, 4M118EA06
, 4M118EA14
, 4M118FA06
, 4M118FA25
, 4M118FA28
, 4M118GB04
, 5C024CX27
, 5C024CX41
, 5C024GX01
, 5C024GY01
, 5C024JX21
