特許
J-GLOBAL ID:200903051009973973
圧電共振子及びこの圧電共振子を用いた圧電部品
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
森下 武一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-166451
公開番号(公開出願番号):特開平9-018278
出願日: 1995年06月30日
公開日(公表日): 1997年01月17日
要約:
【要約】【目的】 圧電体基板の表面に設けたAg電極とこのAg電極に当接するAg膜を表面に設けた金属端子との自己融着を阻止する。【構成】 圧電体基板2の表裏面に設けたAgからなる振動電極3上に、高融点の微粒子4を付着させる。高融点の微粒子4としては、アルミナ等のセラミックやガラス、Ni,Cr,W,Ti,Mo,Ni-Cu(モネル)等及びこれらの合金が用いられる。そして、高融点の微粒子4は、例えばサンドブラスト法や撹拌法等の手段にて振動電極3の表面に付着させたり、又は振動電極3に埋め込まれたりする。
請求項(抜粋):
圧電体基板と、前記圧電体基板の表面に設けたAg電極と、前記Ag電極の表面に設けた高融点の微粒子と、を備えたことを特徴とする圧電共振子。
IPC (5件):
H03H 9/17
, H01L 21/28
, H01L 21/28 301
, H01L 41/09
, H01L 41/22
FI (5件):
H03H 9/17 C
, H01L 21/28 B
, H01L 21/28 301 Z
, H01L 41/08 L
, H01L 41/22 Z
引用特許:
審査官引用 (3件)
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特開昭51-107078
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圧電共振部品の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-010774
出願人:株式会社村田製作所
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特開昭59-219010
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