特許
J-GLOBAL ID:200903051014253121
放射線像変換パネルとその製造方法及びそれを用いた放射線検出装置
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-325923
公開番号(公開出願番号):特開2005-091200
出願日: 2003年09月18日
公開日(公表日): 2005年04月07日
要約:
【課題】 本発明の目的は、バインダー、超高温工程がなく、5〜40%の空隙率を有する放射線像変換パネルの製造方法、高感度でかつ高鮮鋭度の放射線像変換パネル及びそれを用いた放射線検出装置を提供することである。【解決手段】 放射線を可視光に変換する蛍光体層を有する放射線像変換パネルの製造方法において、該蛍光体層は、0.1〜1000Paの真空度で蛍光体粒子を基板に高速衝突させて堆積する成膜法を用いて形成することを特徴とする放射線像変換パネルの製造方法。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
放射線を可視光に変換する蛍光体層を有する放射線像変換パネルの製造方法において、該蛍光体層は、0.1〜1000Paの真空度で蛍光体粒子を基板に高速衝突させて堆積する成膜法を用いて形成することを特徴とする放射線像変換パネルの製造方法。
IPC (7件):
G21K4/00
, C09K11/00
, C09K11/08
, G01T1/00
, G01T1/20
, G03B42/02
, H01L31/09
FI (9件):
G21K4/00 L
, G21K4/00 A
, C09K11/00 B
, C09K11/08 A
, G01T1/00 B
, G01T1/20 B
, G01T1/20 E
, G03B42/02 B
, H01L31/00 A
Fターム (30件):
2G083AA02
, 2G083AA03
, 2G083AA08
, 2G083BB01
, 2G083CC02
, 2G083DD01
, 2G083DD11
, 2G083DD12
, 2G083DD14
, 2G083DD19
, 2G083EE02
, 2G083EE03
, 2G083EE10
, 2G088EE01
, 2G088FF02
, 2G088GG19
, 2G088GG20
, 2G088JJ05
, 2G088JJ37
, 2H013AC01
, 4H001CA01
, 4H001CA08
, 4H001CF01
, 5F088AA01
, 5F088BA01
, 5F088BB07
, 5F088EA04
, 5F088HA15
, 5F088JA17
, 5F088LA08
引用特許:
前のページに戻る