特許

J-GLOBAL ID：200903051014754872

分光測定装置

発明者： 篠山 智生 ,  横田 佳澄 ,  池田 英柱
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 小林 良平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-365772
公開番号（公開出願番号）：特開平11-183252
出願日： 1997年12月22日
公開日（公表日）： 1999年07月09日
要約：

【要約】【課題】 幾何収差等に起因する分光画像の不鮮明さ等を解消する。【解決手段】 収差を補正した第1レンズ群15により、スリット14の通過光束をコリメートして平面回折格子16の格子面に投影させる。また、回折光を同様に収差を補正した第2レンズ群17により集光して光検出器18面上に結像させる。コリメート及び集光に屈折系の光学素子のみを用いることにより、収差の補正が容易になり、鮮明で歪みのない分光画像を得ることができる。

請求項（抜粋）：

複数の微小受光素子が二次元的に配置された光検出器の一方の次元方向に試料の一次元領域像を投影させると共に他の次元方向に光を波長分散させることにより分光画像を結像し、該分光画像を基に試料上の複数の微小領域の分光強度分布を測定する分光測定装置において、a)光源からの照射光に対して試料にて反射又は透過した光の領域を制限するスリットと、b)光を波長分散させる平面状の回折格子と、c)前記スリットを通過した光をコリメートして前記回折格子に導く1乃至複数枚のレンズから成る第1の屈折光学素子と、d)前記回折格子からの回折光を光検出器の検出面に結像する1乃至複数枚のレンズから成る第2の屈折光学素子と、を備えることを特徴とする分光測定装置。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 分光測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-334064   出願人：株式会社島津製作所
• 光スペクトラムアナライザ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-123172   出願人：株式会社アドバンテスト