磁気式変位センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：中尾直樹 , 中村幸雄 , 草野卓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-289888
公開番号（公開出願番号）：特開2007-101299
出願日： 2005年10月03日
公開日（公表日）： 2007年04月19日
要約：

【課題】直線変位を検出すべき可動体がぶれても、その影響を受けず、高精度に変位を検出できるようにする。【解決手段】固定側に可動体の変位方向に配列されて配置された一対の磁石31,32と、磁石31,32間に配置された磁気センサ33と、磁石31,32上に配置された非磁性スペーサ34と、可動体に取り付けられる非磁性スライダ36と、スライダ36に保持され、可動体の変位に伴いスペーサ34上を摺動する軟磁性材料よりなるヨーク35とを備える。一対の磁石31,32はZ方向に互いに逆向きに着磁され、磁気センサ33はZ方向の磁束の変化を検出する。ヨーク35はZ方向に移動可能にスライダ36に保持されている。可動体がぶれてもヨーク35は常にスペーサ34に接した状態を維持し、よって可動体のぶれによってヨーク35と磁石31,32とのZ方向の距離が変わることはない。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

直線変位する可動体の変位を検出するセンサであって、上記可動体に対する固定側に上記変位方向に配列されて配置された一対の磁石と、それら磁石間に配置された磁気センサと、上記一対の磁石上に配置された非磁性材料よりなるスペーサと、上記可動体に取り付けられる非磁性材料よりなるスライダと、そのスライダに保持され、上記可動体の変位に伴い、上記スペーサ上を摺動する軟磁性材料よりなるヨークとを備え、上記一対の磁石は上記スペーサの配置面と直交する方向において互いに逆向きに着磁されており、上記磁気センサは上記直交方向の磁束の変化を検出するものとされ、上記ヨークは上記直交方向に移動可能に上記スライダに保持されていることを特徴とする磁気式変位センサ。

IPC (1件)：

G01D 5/12

FI (1件)：

G01D5/12 Q

Fターム (6件)：

2F077JJ01 , 2F077JJ03 , 2F077JJ07 , 2F077JJ21 , 2F077VV14 , 2F077VV31

引用特許：

出願人引用 (2件)

非接触型位置センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-153027 出願人：東京コスモス電機株式会社
直線測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-304708 出願人：株式会社ミツトヨ

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