特許
J-GLOBAL ID：200903051107835074
アクチュエータ装置の製造方法及び液体噴射装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
栗原 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-069661
公開番号（公開出願番号）：特開2005-260003
出願日： 2004年03月11日
公開日（公表日）： 2005年09月22日
要約：
【課題】 圧電素子を構成する圧電体層の特性を向上でき且つ圧電体層の特性を安定させることができるアクチュエータ装置の製造方法及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】 振動板を形成する工程が、ジルコニウム層を形成すると共にジルコニウム層を所定温度で熱酸化することで酸化ジルコニウムからなり振動板の最表層を構成する絶縁体膜をその表面粗さが2nm以下となるように形成する工程を含み、且つ圧電素子を形成する工程が、前記下電極上にスパッタ法によりチタン(Ti)を塗布して種チタン層を形成する工程と、種チタン層上に圧電材料を塗布して圧電体前駆体膜を形成すると共に圧電体前駆体膜を焼成して結晶化させることで圧電体層を形成する工程とを含むようにする。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
基板の一方面に振動板を形成する工程と、該振動板上に下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子を形成する工程とを具備するアクチュエータ装置の製造方法であって、
前記振動板を形成する工程が、ジルコニウム層を形成すると共に該ジルコニウム層を所定温度で熱酸化することで酸化ジルコニウムからなり前記振動板の最表層を構成する絶縁体膜をその表面粗さが2nm以下となるように形成する工程を含み、且つ前記圧電素子を形成する工程が、前記下電極上にスパッタ法によりチタン(Ti)を塗布して種チタン層を形成する工程と、該種チタン層上に圧電材料を塗布して圧電体前駆体膜を形成すると共に該圧電体前駆体膜を焼成して結晶化させることで前記圧電体層を形成する工程とを含むことを特徴とするアクチュエータ装置の製造方法。
IPC (5件)：
H01L41/22
, B41J2/16
, H01L41/09
, H01L41/18
, H01L41/187
H01L41/22 Z
, B41J3/04 103H
, H01L41/08 J
, H01L41/18 101B
, H01L41/18 101C
, H01L41/18 101D
, H01L41/18 101Z
2C057AF51
, 2C057AF93
, 2C057AG12
, 2C057AG44
, 2C057AG47
, 2C057AG55
, 2C057AP02
, 2C057AP14
, 2C057AP52
, 2C057AP56
, 2C057AP57
, 2C057AQ02
, 2C057BA04
, 2C057BA14
