特許

J-GLOBAL ID：200903010509764868

圧電体素子、インクジェット式記録ヘッド、プリンタ、及び圧電体素子の製造方法

発明者： 村井 正己
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 稲葉 良幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-083970
公開番号（公開出願番号）：特開2001-274472
出願日： 2000年03月24日
公開日（公表日）： 2001年10月05日
要約：

【要約】【課題】 安定した高い圧電特性を備えた圧電体素子およびこれを用いたインクジェト式記録ヘッド、プリンタを提供する。【解決手段】 ZrO2膜32上に、下部電極42(Irを含む第三層423、Ptを含む第二層424、Irを含む第一層425)、4nm以上6nm以下のTi層、圧電体薄膜43、および上部電極44、を順次積層してなり、X線回折広角法により測定した圧電体膜43の100面配向度が40%以上70%以下、110面配向度が10%以下、111面配向度が残部である。この場合、下部電極第二層424の厚さが下部電極42全体の厚さに対して30%以上50%以下である。

請求項（抜粋）：

ZrO2膜上に形成された下部電極と、該下部電極上に形成された圧電体膜と、該圧電体膜上に形成された上部電極とを備えた圧電体素子であって、前記圧電体膜は、X線回折広角法により測定した100面配向度が40%以上70%以下であることを特徴とする圧電体素子。

IPC (7件)：

H01L 41/09 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22 ,  C23C 14/14

FI (7件)：

C23C 14/14 D ,  H01L 41/08 L ,  B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H ,  H01L 41/08 U ,  H01L 41/18 101 Z ,  H01L 41/22 Z

Fターム (18件)：

2C057AF51 ,  2C057AF93 ,  2C057AG47 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP52 ,  2C057AP53 ,  2C057AP54 ,  2C057AP56 ,  2C057AP57 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14 ,  4K029BA01 ,  4K029BC00 ,  4K029BD03 ,  4K029CA01 ,  4K029CA05 ,  4K029GA01

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 圧電体薄膜素子、その製造方法、及び圧電体薄膜素子を用いたインクジェット式記録ヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-245353   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 機能性薄膜、圧電体素子、インクジェット式記録ヘッド、プリンタ、圧電体素子の製造方法およびインクジェット式記録ヘッドの製造方法、
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-163867   出願人：セイコーエプソン株式会社