特許
J-GLOBAL ID：200903051140736227

裏面アライメント機能を備えた露光装置

発明者：
高野 格

高野 格 について


出願人/特許権者：
ウシオ電機株式会社

ウシオ電機株式会社 について


代理人 (1件)： 長澤 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-144160
公開番号（公開出願番号）：特開平11-340120
出願日： 1998年05月26日
公開日（公表日）： 1999年12月10日
要約：
【要約】【課題】 帯状ワークのように連続したワークであっても、ワークの一方の面に形成された特異点を基準として、ワークの他方の面に上記特異点に対して一定の位置関係にあるパターンを精度良く形成できるようにすること。【解決手段】 マスクMの、ワークWbのサイズよりも外側の部分に、ワークアライメントマークWAMに対応するマスクアライメントマークMAMを設ける。また、2つの観察部4a,4bを有する2視野顕微鏡または相対位置が変化しないように固定した2個の顕微鏡の2視野間の距離、もしくは、2個の顕微鏡間の距離を上記マスクアライメントマークMAMとワークアライメントマークWAMの距離に一致するように製作する。そして、上記顕微鏡により、ワークの裏面に設けられたワークアライメントマークWAMと、マスクアライメントマークMAMとを、同時に検出し、マスクMとワークWbの位置合わせを行う。
請求項（抜粋）：
露光光を照射する光照射装置と、マスクパターンと、ワークサイズよりも外側の位置にマスクアライメントマークとが設けられたマスクと、特異点が設けられたワークと、ワークの特異点を観察するための観察孔が設けられたワークステージと、ワークステージ上に特異点を下にして載置されたワークの特異点を、観察孔を介して観察する第1の観察部と、マスクのマスクアライメントマークを観察する第2の観察部とを有する、アライメントユニットと、第1の観察部と第2の観察部との間の水平距離に、特異点とマスクアライメントマークとの間の水平距離を等しくするように、マスクステージまたはワークステージを移動する制御手段を備えたことを特徴とする裏面アライメント機能を備えた露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ,  G03F 9/00
FI (2件)：
H01L 21/30 510 ,  G03F 9/00 H
引用特許：
出願人引用 (4件)
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