特許

J-GLOBAL ID：200903051146127516

圧力センサ

発明者： 上野 正人
出願人/特許権者： 株式会社デンソー
代理人 (3件)： 伊藤 洋二 ,  三浦 高広 ,  水野 史博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-146101
公開番号（公開出願番号）：特開2005-326338
出願日： 2004年05月17日
公開日（公表日）： 2005年11月24日
要約：

【課題】 劣化を引き起こす酸性や腐蝕性の圧力媒体からセンサチップを保護することができる圧力センサを提供する。【解決手段】 センサチップ21のセンシング部を露出させた状態でセンサチップ21の周辺部を覆うようにフッ素系ゴムで構成される第1の保護部材41を設け、第1の保護部材41よりも低弾性であって第1の保護部材41およびセンサチップ21のセンシング部を覆うようにフッ素系ゲルで構成される第2の保護部材42を設ける。そして、この第2の保護部材42の表面に、撥水性を有し、かつ、耐腐蝕性を有するフッ素系樹脂で構成される第3の保護部材43を設ける。この第3の保護部材43により、劣化を引き起こす酸性や腐蝕性の圧力媒体に第2の保護部材42をさらさないようにし、第3の保護部材43にて圧力媒体を遮断することで圧力媒体が第2の保護部材42に侵入しないようにする。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

圧力媒体の圧力を検出してその圧力に応じたレベルの電気信号を発生するセンサチップ(21)と、 前記センサチップを収納する凹部(12)を有し、この凹部内に前記ターミナルの一端側が露出するように前記ターミナルをインサート成形したケース(10)と、 前記センサチップと前記ターミナルの一端側とを電気的に接続するワイヤ(23)と、を備え、 前記凹部内の前記ターミナル、前記センサチップ、前記ワイヤを保護部材(41、42)にて被覆保護するようにした圧力センサにおいて、 前記保護部材の上面のうち、撥水性を有し、かつ、耐腐蝕性を有する樹脂部材(43)が少なくとも前記ターミナル、前記センサチップ、前記ワイヤに対向する位置に設けられており、 前記圧力媒体の圧力は、前記樹脂部材および前記保護部材を介して前記センサチップのセンシング部に伝達されるようになっていることを特徴とする圧力センサ。

IPC (2件)：

G01L19/06 ,  H01L29/84

FI (2件)：

G01L19/06 A ,  H01L29/84 B

Fターム (18件)：

2F055AA27 ,  2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055DD05 ,  2F055EE14 ,  2F055FF38 ,  2F055GG11 ,  2F055HH05 ,  2F055HH11 ,  4M112AA01 ,  4M112BA01 ,  4M112CA01 ,  4M112CA03 ,  4M112CA13 ,  4M112DA18 ,  4M112EA14 ,  4M112FA08 ,  4M112GA01

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 圧力センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-128260   出願人：株式会社デンソー

審査官引用 (2件)

• 半導体圧力センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-004589   出願人：富士電機株式会社
• 圧力センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-128260   出願人：株式会社デンソー