特許
J-GLOBAL ID：200903051220925241
蛍光X線分析装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
塩野入 章夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-007329
公開番号（公開出願番号）：特開2003-207466
出願日： 2002年01月16日
公開日（公表日）： 2003年07月25日
要約：
【要約】【課題】 蛍光X線分析装置において、低エネルギーのX線、特に軽元素の特性X線を高感度で検出すること。【解決手段】 X線管と、前記X線管からの一次X線を試料表面に照射するコリメータ又はキャピラリレンズと、試料からの蛍光X線を検出する検出器と、前記蛍光X線の空気による減衰を防ぐ第1の構成、及び/又は前記一次X線の空気による減衰を防ぐ第2の構成を備える。第1の構成において、検出器のチャンバーは一次X線と干渉しない程度まで検出窓を試料に接近した位置に配置する。第2の構成において、コリメータ又はキャピラリレンズにおいて、両端をX線透過性を有しかつ真空密閉可能な薄膜で遮蔽し、内部を真空又はヘリウム雰囲気に保持する。
請求項（抜粋）：
X線管と、前記X線管からの一次X線を試料表面に照射するコリメータ又はキャピラリレンズと、試料からの蛍光X線を検出する検出器と、前記蛍光X線の空気による減衰を防ぐ第1の構成、及び/又は前記一次X線の空気による減衰を防ぐ第2の構成を備え、前記第1の構成は、前記検出器において、蛍光X線を内部に導入する検出窓と、当該検出窓と導入した蛍光X線を検出する検出素子との間を真空状態に保持するチャンバーとを備え、当該チャンバーは一次X線と干渉しない程度まで前記検出窓を試料に接近した位置に配置する構成であり、前記第2の構成は、前記コリメータ又はキャピラリレンズにおいて、両端をX線透過性を有しかつ真空密閉可能な薄膜で遮蔽し、内部を真空又はヘリウム雰囲気に保持する構成であることを特徴とする蛍光X線分析装置。
IPC (3件)：
G01N 23/223
, G21K 1/02
, G21K 5/02
G01N 23/223
, G21K 1/02 C
, G21K 5/02 X
2G001AA01
, 2G001BA04
, 2G001CA01
, 2G001HA09
, 2G001KA01
, 2G001NA05
, 2G001NA06
, 2G001NA16
, 2G001NA17
, 2G001PA07
, 2G001SA02
, 2G001SA30
