特許
J-GLOBAL ID:200903051230159636
光学式位置決め装置におけるスペックルサイジング及びセンサ寸法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
古谷 聡
, 溝部 孝彦
, 西山 清春
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-527528
公開番号(公開出願番号):特表2008-500557
出願日: 2005年05月19日
公開日(公表日): 2008年01月10日
要約:
一実施形態は、一連のフレームにおける光学的特徴の変位を判定することにより一表面に対するデータ入力装置の横方向変位を検知するための光学式変位センサに関するものである。該センサは、少なくともコヒーレント光源(306)、前記表面(304)の一部を照明するための照明用光学系(308)、イメージング用光学系(310)、及び周期的な距離を有する感光素子の第1のアレイ(302)を含む。照明手段及び検出器は、照明された前記表面の部分から反射された光の強度パターンを前記感光素子の第1のアレイ(302)上に生じさせるよう構成される。該強度パターンは、前記アレイ(302)の前記周期的な距離の0.5〜2倍の間の平均スペックル直径を有する複数のスペックルを含む。【選択図】図3
請求項(抜粋):
一連のフレームにおける光学的特徴の変位を判定することにより一表面に対するデータ入力装置の横方向変位を検知するための光学式変位センサであって、
コヒーレント光源、及び前記表面の一部を照明するための照明用光学系を有する照明手段と、
イメージング用光学系、及び周期的な距離を有する少なくとも1つの第1の感光素子アレイを含む、検出器とを含み、
前記照明手段及び前記検出器が、照明された前記表面の部分から反射された光の強度パターンを前記第1の感光素子アレイ上に生じさせるよう構成され、
前記強度パターンが、前記アレイの前記周期的な距離の0.5〜2倍の間の平均スペックル直径を有する複数のスペックルを含む、光学式変位センサ。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (14件):
2F065AA07
, 2F065AA09
, 2F065CC00
, 2F065FF56
, 2F065GG04
, 2F065HH12
, 2F065JJ02
, 2F065JJ03
, 2F065JJ18
, 2F065JJ25
, 2F065JJ26
, 2F065LL59
, 2F065QQ26
, 2F065QQ42
引用特許:
審査官引用 (5件)
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変位計
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-333778
出願人:株式会社小野測器
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特開平1-287725
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特開昭54-022848
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