塗布方法及びその装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：逢坂宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-275227
公開番号（公開出願番号）：特開平6-103618
出願日： 1992年09月18日
公開日（公表日）： 1994年04月15日
要約：

【要約】【構成】塗布されるべき紫外線硬化樹脂の粘度に相関性のある樹脂温度を検出し、この検出に基いて樹脂の塗布条件を制御する塗布方法とその装置。【効果】常に所望の樹脂供給量、滴下エリア等を設定でき、塗布厚や塗布エリア等の安定性が向上し、塗布厚が均一となり、液ダレや不必要なエリアへの廻り込みがなくなる。

請求項（抜粋）：