特許
J-GLOBAL ID：200903051250913221

荷電粒子ビーム装置

発明者：
田中 幸浩

田中 幸浩 について

, 
本田 和広

本田 和広 について


出願人/特許権者：
日本電子株式会社

日本電子株式会社 について


代理人 (1件)： 井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-075075
公開番号（公開出願番号）：特開平10-270331
出願日： 1997年03月27日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：
【要約】【目的】 試料の傾斜角や試料に照射される荷電粒子ビームの条件が変わっても、像質がほとんど変化しない荷電粒子ビーム装置を実現する。【構成】 信号混合比算出装置27には、信号混合比等をファジイ推論によって推論するファジイ推論手段31と、推論手段31に入力する変数を作成する前処理手段32と、ファジイ推論手段31の出力を評価する後処理手段33と、ルールベース34と、ルールベース34に格納されているルールを編集できるルールエディタ35とが構築されている。ファジイ推論手段31は、各内部変数から、ルールベース34に格納されているif/then形式で記述されたルールを参照して、ファジイ推論によって信号混合比、感度、輝度制御量目標値内部変数を推論し、それらを後処理手段33に出力する。後処理手段33は、制御量目標値を出力し、信号混合比制御回路19に供給する。
請求項（抜粋）：
荷電粒子ビーム源からの荷電粒子ビームを試料に照射し、試料から得られた信号を複数の検出器で検出し、複数の検出器の出力信号を混合し、混合された信号に基づいて像の表示を行うようにした荷電粒子ビーム装置において、試料を傾斜させる手段を設け、試料の傾斜角に応じて複数の検出器の出力信号の混合比を変化させるように構成した荷電粒子ビーム装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/244 ,  H01L 21/66
FI (4件)：
H01L 21/30 541 E ,  H01J 37/20 D ,  H01J 37/244 ,  H01L 21/66
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (2件)
  • 特開平2-091501
  • 特開平4-052927

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