特許
J-GLOBAL ID：200903051264697548

集積化方位センサ

発明者：
福本 博文

福本 博文 について


出願人/特許権者：
旭化成株式会社

旭化成株式会社 について


代理人 (1件)： 森 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-392662
公開番号（公開出願番号）：特開2003-194574
出願日： 2001年12月25日
公開日（公表日）： 2003年07月09日
要約：
【要約】【課題】 方位検出および姿勢検出が可能であって、携帯機器に搭載できるようにした小型の集積化方位センサの提供。【解決手段】 この発明は、地磁気を検出する3軸の磁気センサ4と、重力加速度を検出する2軸の加速度センサ3と、磁気センサ4からの磁気情報および加速度センサ3からの加速度情報を演算処理する演算処理部6とを備えている。これらの磁気センサ4、加速度センサ3、および演算処理部6は、同一のシリコン基板7上に配置されている。加速度センサ3は、シリコン基板7に固定された櫛歯状の固定電極と、この固定電極と対向する櫛歯状の可動電極を有する重り部と、この重り部をシリコン基板7上に可動自在に支持する梁とから構成するものである。
請求項（抜粋）：
地磁気を検出する少なくとも3軸の磁気センサと、重力加速度を検出する2軸以上の加速度センサと、前記磁気センサからの出力信号および前記加速度センサからの出力信号を処理する信号処理部とを備え、前記磁気センサ、前記加速度センサ、および前記信号処理部を同一のシリコン基板上に配置し、かつ、前記加速度センサは、前記シリコン基板に固定された櫛歯状の固定電極と、この固定電極と対向する櫛歯状の可動電極を有する重り部と、この重り部を前記シリコン基板上に可動自在に支持する梁とを備えたことを特徴とする集積化方位センサ。
IPC (9件)：
G01C 21/08 ,  B81B 3/00 ,  G01C 21/12 ,  G01P 15/03 ,  G01P 15/18 ,  G01R 33/02 ,  G01R 33/07 ,  H01L 29/84 ,  H01L 43/06
FI (11件)：
G01C 21/08 ,  B81B 3/00 ,  G01C 21/12 N ,  G01P 15/03 Z ,  G01R 33/02 L ,  H01L 29/84 Z ,  H01L 43/06 P ,  H01L 43/06 S ,  H01L 43/06 U ,  G01P 15/00 K ,  G01R 33/06 H
Fターム (20件)：
2G017AA01 ,  2G017AA16 ,  2G017AD53 ,  2G017BA15 ,  4M112AA02 ,  4M112AA04 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA22 ,  4M112CA24 ,  4M112CA30 ,  4M112CA32 ,  4M112DA20 ,  4M112EA02 ,  4M112EA04 ,  4M112FA01 ,  4M112FA05 ,  4M112FA11 ,  4M112FA20 ,  4M112GA03
引用特許：
審査官引用 (4件)
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