特許
J-GLOBAL ID：200903051362746905

デバイスの製造方法、デバイス及び電子機器

発明者：
古沢 昌宏

古沢 昌宏 について

, 
平井 利充

平井 利充 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 渡邊 隆 ,  志賀 正武 ,  実広 信哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-096516
公開番号（公開出願番号）：特開2004-000932
出願日： 2003年03月31日
公開日（公表日）： 2004年01月08日
要約：
【課題】マルチノズルヘッドを用いて基板上に所定のパターンを形成する際、所望の位置に液滴を吐出できるデバイスの製造方法を提供する。【解決手段】基板101上に液滴を吐出する際、基板101上に、液滴が吐出される複数のピクセルからなるビットマップを設定する。ピクセルを設定する際、液滴吐出ヘッド1の吐出ノズル10の間隔をa、ピクセルのY軸方向における大きさをbyとするとき、by = a/n (nは正の整数)の条件を満足するように、ピクセルを設定する。【選択図】 図8
請求項（抜粋）：
液滴吐出ヘッドと基板とを所定方向に相対的に移動させ、前記液滴吐出ヘッドに形成され前記所定方向と交わる方向に所定間隔で配置された複数の吐出ノズルから、前記基板に対して液状材料を吐出し、前記基板上に所定のパターンを製膜する工程を有するデバイスの製造方法において、 前記基板に対して、前記液状材料の液滴が吐出される格子状の複数の単位領域を設定する工程と、 前記複数の単位領域のうち所定の単位領域に対して前記吐出ノズルから前記液滴を吐出して前記パターンを形成する工程とを有し、 前記液滴吐出ヘッドの前記吐出ノズルの間隔をa、前記単位領域の前記所定方向と交わる方向における大きさをbyとするとき、 by = a/n (nは正の整数) の条件を満足するように、前記単位領域を設定することを特徴とするデバイスの製造方法。
IPC (4件)：
B05D1/26 ,  B05C5/00 ,  B05C11/10 ,  G02B5/20
FI (4件)：
B05D1/26 Z ,  B05C5/00 101 ,  B05C11/10 ,  G02B5/20 101
Fターム (35件)：
2H048BA64 ,  2H048BB02 ,  2H048BB42 ,  4D075AC06 ,  4D075AC09 ,  4D075AC88 ,  4D075AC93 ,  4D075CA22 ,  4D075CB07 ,  4D075DA04 ,  4D075DA06 ,  4D075DB01 ,  4D075DB13 ,  4D075DB18 ,  4D075DB31 ,  4D075DB35 ,  4D075DC19 ,  4D075DC21 ,  4D075DC24 ,  4D075EA07 ,  4D075EA10 ,  4D075EC10 ,  4D075EC11 ,  4D075EC17 ,  4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AB02 ,  4F041BA13 ,  4F041BA21 ,  4F041BA34 ,  4F042AA02 ,  4F042BA03 ,  4F042BA08 ,  4F042BA10 ,  4F042BA25
引用特許：
審査官引用 (3件)

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