細長い物体の表面分析

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (12件)：鈴江武彦 , 河野哲 , 中村誠 , 蔵田昌俊 , 峰隆司 , 福原淑弘 , 白根俊郎 , 村松貞男 , 野河信久 , 砂川克 , 橋本良郎 , 風間鉄也
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-520865
公開番号（公開出願番号）：特表2008-506939
出願日： 2005年07月18日
公開日（公表日）： 2008年03月06日
要約：

複数の光源(4)がリング形状で平面に配置され、個々に連続してこのリングを回転するように放射する。入射ビームは、このリングの軸(5)に向けられ、この軸に直角ではない角度で傾斜している。このビームは、ほぼこの軸(5)に沿って位置している物体(2)により反射され、ただちに、ソースのリングに平行な平面に位置している光検出器(8a、8b、8c)の1つにより受光される。形状の欠陥、表面の不規則さ、又は色の変化の存在は、光検出器により受容されたエネルギを変調することにより決定される。この測定は、物体の表面の非常に小さい領域の連続的な照明の非常に良好な解像度を提供する。

請求項（抜粋）：

ワイヤ(2)などのような細長い物体の表面の状態を分析するための装置であって、平面でほぼリングに配置され、各々がこのリングの軸(5)に向けられた主入射ビーム(6)を放射するようにデザインされ、この主入射ビーム(6)が、前記リングの軸(5)と直角ではなくゼロではない角度である、角度(α)を形成するように配置されている複数の光のソース(4)と、これらソース(4)のリングにほぼ平行な平面に位置し、入射ビーム(6)の前記物体(2)での直接かつ完全な反射により形成される各反射ビーム(12)が、3つの光検出器のうちの少なくとも2つで受光されることができるように位置している少なくとも3つの光検出器(8、8a、8b、8c)と、を具備し、前記物体(2)は、この物体(2)の表面の分析される領域が前記入射ビーム(6)の光路上に位置するように、前記軸(5)の近傍に位置することを意図される、装置において、この装置は、前記光検出器(8)に向けて前記物体(2)の表面で回転する反射を生じさせるように回転する入射ビーム(6)を発生させるために、前記ソース(4)を前記リングで局所的に回転させるように、個々に連続させて作動させることを目的とする手段を具備することを特徴とする装置。

IPC (3件)：

G01N 21/892 , G01B 11/24 , G01B 11/30

FI (5件)：

G01N21/892 C , G01B11/24 K , G01B11/24 A , G01B11/30 102 , G01B11/30 A

Fターム (27件)：

2F065AA49 , 2F065AA50 , 2F065AA51 , 2F065BB12 , 2F065BB15 , 2F065CC00 , 2F065FF41 , 2F065GG06 , 2F065GG07 , 2F065GG17 , 2F065HH12 , 2F065HH14 , 2F065JJ02 , 2F065JJ05 , 2F065JJ09 , 2F065JJ25 , 2F065LL03 , 2F065LL10 , 2F065LL22 , 2G051AA31 , 2G051AB02 , 2G051BA01 , 2G051BB01 , 2G051BB09 , 2G051CA01 , 2G051CB01 , 2G051DA06

引用特許：

審査官引用 (6件)

なめらかな凹凸を有する長尺体の外観検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-309363 出願人：住友電気工業株式会社
特開昭56-061983
欠陥検出装置
公報種別：公表公報出願番号：特願2000-545010 出願人：シーアールシーフォーインテリジェントマニュファクチュアリングシステムズアンドテクノロジーズリミテッド

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