特許
J-GLOBAL ID:200903051424733961

光パルスの光搬送波絶対位相計測方法および装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 山川 政樹 ,  黒川 弘朗 ,  山川 茂樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-072931
公開番号(公開出願番号):特開2007-003511
出願日: 2006年03月16日
公開日(公表日): 2007年01月11日
要約:
【課題】従来よりも簡便、かつ、1μJ/pulse以下の光パルスを使用して光搬送波絶対位相の絶対量を計測できるようにする。【解決手段】極短光パルスを固体ターゲットに斜入射で照射し、これにより発生した偶数次高調波と奇数次高調波との干渉強度を測定する。この測定を光パルスの光搬送波絶対位相を変化させて、繰り返し行なう(ステップS1〜S5)。干渉強度は光パルスの光搬送波絶対位相に対応して周期的に変化するので、干渉強度の測定結果から光パルスの光搬送波絶対位相に対応する光搬送波絶対位相の値を算出することができる(ステップS6,S7)。【選択図】 図3
請求項(抜粋):
光パルスの光搬送波絶対位相を変化させて固体ターゲットに斜入射で照射し、前記固体ターゲットに反射した前記光パルスの基本波と反射方向に発生した偶数次高調波との干渉強度、または、前記反射方向に発生した奇数次高調波と偶数次高調波との干渉強度を繰り返し計測するステップと、 前記光パルスの光搬送波絶対位相の変化量に対する前記干渉強度の周期的変化から前記光搬送波絶対位相の値を算出するステップと を備えることを特徴とする光パルスの光搬送波絶対位相計測方法。
IPC (2件):
G01J 11/00 ,  G01J 9/02
FI (2件):
G01J11/00 ,  G01J9/02
Fターム (12件):
2G065AB02 ,  2G065AB04 ,  2G065AB09 ,  2G065AB16 ,  2G065BA01 ,  2G065BB14 ,  2G065BB25 ,  2G065BB34 ,  2G065BC13 ,  2G065BC33 ,  2G065BC35 ,  2G065DA05
引用特許:
審査官引用 (1件)
引用文献:
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