特許

J-GLOBAL ID：200903051448622486

弾性表面波装置および製造方法

発明者： 矢辺 貴幸 ,  大久保 幸夫 ,  佐藤 隆裕
出願人/特許権者： 株式会社ジャパンエナジー
代理人 (1件)： 並川 啓志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-349033
公開番号（公開出願番号）：特開平7-202626
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1995年08月04日
要約：

【要約】【目的】ストレスマイグレーションに対する充分な耐性を有する電極構成材料をを提供する。【構成】圧電性基板上にインタデジタル電極が形成された弾性表面波装置において、前記インタデジタル電極が、(a)金属層、および(b)該金属層と前記圧電性基板との間に設けられ、該金属層の主な構成元素の原子間距離と同程度の原子間距離を有する遷移金属窒化物からなる窒化物層を含むものである。

請求項（抜粋）：

圧電性基板上にインタデジタル電極が形成された弾性表面波装置において、前記インタデジタル電極が、(a)金属層、および(b)該金属層と前記圧電性基板との間に設けられ、該金属層の主な構成元素の原子間距離と同程度の原子間距離を有する遷移金属窒化物からなる窒化物層を含むことを特徴とする弾性表面波装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-021111
  
• 薄膜配線およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-075183   出願人：日本電気株式会社
• 特開昭60-259470