有機強誘電体薄膜及び半導体デバイス

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：小倉亘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-161431
公開番号（公開出願番号）：特開2001-345431
出願日： 2000年05月31日
公開日（公表日）： 2001年12月14日
要約：

【要約】【目的】印加電圧又は光励起で誘電体と導電体との間をスイッチングする作用をもつ有機強誘電体薄膜を用いて半導体デバイス,光応答型半導体デバイス,光検出器等を作製する。【構成】次のドナー及びアクセプタを含む有機錯体から有機強誘電体薄膜が成膜されている。キャパシタ又はメモリーデバイスは、基板1上に下部電極2,有機強誘電体薄膜3及び上部電極4を順次積層することにより作製される。ドナー物質:アルカリ金属,NH4,tetrathiafulvalene,tetra-methyltelluro-tetrathiafulvalenen,tetramethiyl-phenilendiamine,dyhydrol-dimethyl-phenazine,tetramethyl-benzidine,N-methyl-N-ethyl-morphorinium及びこれらの誘導体アクセプター物質: tetracyano-quinodimethane,tetracyano-tetrafluoro-quinodimetha,tetracyano-dimethyl-quinodimethane,tetrachrolo-benzoquinone,teichrolo-benzoquinone及びこれらの誘導体

請求項（抜粋）：

ドナー及びアクセプタを含む有機錯体から成膜され、アルカリ金属,NH4,テトラチアフルバレン(tetrathiafulvalene),テトラメチルテルロ-テトラチアフルバレン(tetra-methyltelluro-tetrathiafulvalenen),テトラメチル-フェニレンヂアミン(tetramethyl-phenilendiamine),ジヒドロ-ジメチル-フェナジン(dihydro-dimethyl-phenazine),テトラメチル-ベンジディン(tetramethyl-benzidine),N-メチル-N-エチル-モルフォリニウム(N-methyl-N-ethyl-morphorinium)及びこれらの誘導体から選ばれた1種又は2種以上をドナーとし、テトラシアノ-キノジメタン(tetracyano-quinodimethane),テトラシアノ-テトラフルオロ-キノジメタン(tetracyano-tetrafluoro-quinodimethane),テトラシアノ-ヂメチル-キノジメタン(tetracyano-dimethyl-quinodimethane),テトラクロロ-ベンゾキノン(tetrachloro-benzoquinone,teichloro-benzoquinone)及びこれらの誘導体から選ばれた1種又は2種以上をアクセプターとしていることを特徴とする有機強誘電体薄膜。

IPC (6件)：

H01L 27/10 451 , H01G 4/33 , H01L 27/04 , H01L 21/822 , H01L 27/108 , H01L 21/8242

FI (5件)：

H01L 27/10 451 , H01G 4/06 102 , H01L 27/04 C , H01L 27/04 H , H01L 27/10 651

Fターム (28件)：

5E082AB03 , 5E082AB10 , 5E082BB10 , 5E082BC35 , 5E082EE05 , 5E082FG03 , 5E082FG32 , 5E082FG42 , 5E082FG46 , 5E082KK01 , 5F038AC02 , 5F038AC05 , 5F038AC15 , 5F038AC18 , 5F038BH15 , 5F038DF05 , 5F038EZ01 , 5F038EZ20 , 5F083AD10 , 5F083AD21 , 5F083FR02 , 5F083FZ07 , 5F083FZ10 , 5F083GA24 , 5F083GA30 , 5F083JA01 , 5F083MA06 , 5F083MA17

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭62-002413
特開昭63-283059
特開平2-079401

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