マイクロメカニカル熱量測定センサー

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三枝英二 (外8名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-537055
公開番号（公開出願番号）：特表2002-506993
出願日： 1999年03月16日
公開日（公表日）： 2002年03月05日
要約：

【要約】放出された熱に基づく反応を検出するための熱量測定センサ及び方法。第1の熱膨張係数の第1の表面(5)と、第2の熱膨張係数の第2の表面(9)とを有するカンティレバー状スプリングエレメント(3)は、試薬(7)でコーティングされている。試料(13)は、試薬(7)と反応し、放出された熱がスプリング(3)の温度を変化させ、これにより、第1の表面(5)と第2の表面(9)に異なる膨張が生じ、この結果、スプリング(3)に測定可能なたわみが起こる。基準スプリング(15)が用いられる場合もある。

請求項（抜粋）：

モニターされる媒質の試料における熱変化を検出及び測定するための装置であって、トランスデューサベースと、前記ベースに取り付けられた少なくとも1つのカンティレバー状スプリングエレメントとを備え、前記スプリングエレメントは: コーティングされた領域を有する少なくとも1つの表面と、前記コーティングされた領域上に少なくとも1つの材料と、前記少なくとも1つの材料は第1の熱膨張係数を有し、前記少なくとも1つの材料は、前記コーティングされた領域の上または直近に配置可能な前記試料における熱変化に応答して膨張し、前記スプリングエレメント上の、前記第1の熱膨張係数とは異なる熱膨張係数を有する第2の表面とを備え、前記スプリングエレメントの前記表面上の前記材料の前記熱膨張係数が異なることにより生じる機械的応力による前記スプリングエレメントのたわみを測定するための手段とを備える装置。

IPC (2件)：

G01N 25/48 , G01N 13/16

FI (2件)：

G01N 25/48 , G01N 13/16 C

Fターム (6件)：

2G040AA01 , 2G040AB12 , 2G040BA01 , 2G040CA23 , 2G040CA25 , 2G040DA09

引用特許：

審査官引用 (1件)

熱量センサ
公報種別：公表公報出願番号：特願平7-503771 出願人：インターナシヨナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーシヨン

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